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¥ 1.0
涂敷粘合促进剂并旋转干燥后，将光 BCB 膜直接旋涂到基材上。用于沉积树脂的精确条件（例如旋转速度）将根据所需的最终膜厚度和所使用的树脂配方而有所不同。表 6 显示了 Cyclotene ™ 4022-35、4024-40 和 4026-46 树脂在软烘烤（参见第 4 节）后的厚度与旋转速度的关系以及曝光、显影和固化后的最终厚度。最终固化膜中的大部分膜厚度损失发生在显影步骤中。固化步骤（除去除残留显影剂溶剂外）中的膜厚度损失小于 5%。表 6 中的厚度是使用开放式旋转碗测定的。如果使用有盖或封闭的杯式涂布机，厚度将有所不同，并且取决于旋转时间和旋转速度。图 3 显示了使用开放式和封闭式碗配置的膜厚度比较。
杜邦™ Cyclotene™ 4000 系列
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