1微电器设备的关键实验室集成技术,中国科学院微型电子学研究所,中国北京100029; zhangdonglin20@mails.ucas.ac.cn(d.z.); zhaoyulin@ime.ac.cn(y.z。); hanzhongze20@mails.ucas.ac.cn(Z.H.); qhu@mail.ustc.edu.cn(Q.H.); xuanzhi@mail.ustc.edu.cn(X.L.); hommyoun@163.com(H.Y.); chengjh0903@foxmail.com(J.C。); dingqingting@ime.ac.cn(q.d.); lvhangbing@ime.ac.cn(H.L.)2中国科学学院微电子学院,中国北京100049,中国3张实验室,中国311121; pengb806@nenu.edu.cn(B.P. ); hanyk@zhejianglab.com(y.h。 ); jianghaijun@zhejianglab.com(H.J.) 4中国科学技术大学微电子学院,中国Hefei 230026 *通信:yangjianguo@ime.ac.ac.cn;电话。 : +86-10-82995-5852中国科学学院微电子学院,中国北京100049,中国3张实验室,中国311121; pengb806@nenu.edu.cn(B.P.); hanyk@zhejianglab.com(y.h。); jianghaijun@zhejianglab.com(H.J.)4中国科学技术大学微电子学院,中国Hefei 230026 *通信:yangjianguo@ime.ac.ac.cn;电话。 : +86-10-82995-5854中国科学技术大学微电子学院,中国Hefei 230026 *通信:yangjianguo@ime.ac.ac.cn;电话。: +86-10-82995-585
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