•转向镜和检测器之间的光距离:对于较大距离的精度较高。因此,应选择较大的距离。第一个转向镜应靠近波动源。•光束直径:具有相同的激光束位置的绝对变化,较小的直径会导致4 QD象限的功率差异更强,因此会导致更陡峭的控制信号。这就是为什么直径较小的激光束可以以较高的精度定位。•强度:检测器的分辨率进一步取决于击中敏感区域的强度。这可以通过适当的光学过滤器选择和电子方式进行优化(另请参见第5.5节)来改变。•重复率和脉冲持续时间:可以针对不同的激光参数优化控制器带宽。较高的带宽导致更快的反应,因此在快速波动的情况下,精度更高。
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