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UV-KUB 3 是基于掩模对准系统的 UV-LED，可用光源为 365nm。这是一款非常紧凑的台式系统，可兼容 4 英寸晶圆或 6 英寸晶圆（具体取决于版本）。由于特定的光学布置提供了最大发散角小于 2° 的准直光束，因此可实现的最小特征尺寸为 1µm。UV-KUB 3 系统兼容硬（物理）或软（接近）掩模接触模式，并提供低至 1µm 的对准分辨率。该掩模对准系统支持所有标准光刻胶，例如 AZ、Shipley、SU-8 和 K-CL。
UV LED 光源 非常紧凑实用的系统...
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