机构名称：
¥ 1.0
• 4072 自动参数测试系统 • Agilent 4072A 高级直流自动参数测试仪，配备 4 个源测量单元 (SMU) 和 48 针开关矩阵 • 测试仪可直接对接至 Electroglas 4090μ 全自动探测器 • 4073 自动参数测试系统 • Agilent 4073A 超高级直流自动参数测试仪，配备 8 个源测量单元 (SMU)、48 针开关矩阵和 1fA 低电流测量功能 • 测试仪可直接对接至具有 150°C 热卡盘功能的 Accretech UF200 全自动探测器 • 4082A 自动参数测试系统 • Agilent 4082A 高级直流自动参数测试仪，配备 4 个源测量单元 (SMU)、38 针开关矩阵和高吞吐量测试 • 测试仪可直接对接至具有 150°C 热卡盘和150μm薄晶圆能力
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