更快,更稳定的等离子体模拟有助于推进芯片制造

等离子体(电荷的第四个物质状态)是许多重要的工业过程的核心,包括用于制造计算机芯片和涂层材料的工艺。

来源:英国物理学家网首页
标记显示了在坐标平面X – Y上的数值网格节点的位置。紫色圆圈是紫色直线显示的中心网格的节点。三角形和对角线交叉分别代表沿x和y方向移动的网格节点。红色圆圈是沿x和y方向移动的网格的节点。学分:等离子体物理学(2025)。 doi:10.1063/5.0241152
等离子体的物理

等离子体(电荷的第四个物质状态)是许多重要的工业过程的核心,包括用于制造计算机芯片和涂层材料的工艺。

模拟这些等离子体可能具有挑战性,因为在模拟中必须进行数千点进行数百万个数学操作,每秒很多次。即使有了世界上最快的超级计算机,科学家们仍在努力创建动力学模拟(考虑到单个粒子),该模拟已详细且迅速,以帮助他们改善这些制造过程。

现在,一种新方法为对所谓的电感耦合等离子体的动力学模拟提供了提高的稳定性和效率。该方法是在美国能源部的普林斯顿等离子物理实验室(PPPL)和CHIP设备制造商Applied Materials Inc.之间的私人公共合作伙伴关系的一部分中实施的,该材料已经使用了该工具。来自艾伯塔大学,PPPL和洛斯阿拉莫斯国家实验室的研究人员为该项目做出了贡献。

代码 等离子体

“这是我们能力的迈出一大步,” PPPL的首席研究物理学家伊戈尔·卡加诺维奇(Igor Kaganovich)说,也详细介绍了在等离子体物理学上发表的期刊文章的合着者,详细介绍了模拟发现。

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“对于一个复杂的问题,改进是显着的,”陈说。

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