光学和光子学高速自动对准:PI 推出下一代 6 轴纳米定位对准系统

6-DOF 运动、超紧凑占地面积和高速光子对准算法直接集成到控制器固件中。

来源:RoboticsTomorrow News

6-DOF 运动、超紧凑占地面积和高速光子对准算法直接集成到控制器固件中。

马萨诸塞州什鲁斯伯里 - 纳米定位和精密运动系统领域的全球领导者 PI (Physik Instrumente) 今天宣布推出其最新的 6 轴压电对准平台:P-616.65S NanoCube® 6-DOF 压电弯曲纳米定位系统。新平台在 X、Y 和 Z 方向上具有 500μm 的线性行程,在 ?X、?Y、?Z 方向上具有 3° 的旋转范围,以及真正的并联运动 6 自由度运动,为光子学、半导体和显微镜应用中的紧凑性、动态性能和精度建立了新标准。用户可编程的虚拟枢轴点(旋转中心)和直接内置于数字控制器固件中的高速对准例程进一步增强了多功能性,加速了设置和吞吐量。

PI 的下一代用于光子学和微光学的 6 轴自动对准系统具有用户可编程的虚拟枢轴点和高速对准例程。

高刚度 = 高动态以及快速步进和稳定

其集成、刚性、无摩擦的挠曲结构提供高刚度(其谐振频率为 350 Hz),并可实现快速动态和快速步进稳定性能,非常适合快速扫描和自动多通道光子对准。

该系统由具有 1000 亿次循环寿命的 PICMA® 全陶瓷执行器提供动力,即使在 24/7 高占空比环境中也能提供卓越的可靠性。具有高分辨率传感器的闭环位置控制可在所有运动轴上提供纳米级的可重复性。

关键技术亮点

•超紧凑的 6 轴对准系统 — 小到可以放在手掌中

•X、Y 和 Z 方向的行程范围为 500µm

• ?X、?Y、?Z 方向旋转 3°,实现全 6 自由度调整

•用户可选择的虚拟枢轴点 - 在软件中实现直观的多轴对准

用于更快对准的智能固件

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