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CHIPS 计量计划 CHIPS 计量计划利用 NIST 成熟的测量科学专业知识来开展准确、精确且适合微电子材料、设备生产用途的测量研究

来源:美国国家标准与技术研究院__电子产品信息

CHIPS 计量计划

CHIPS 计量计划利用 NIST 成熟的测量科学专业知识,对准确、精确且适合微电子材料、设备、电路和系统生产的测量进行研究。

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CHIPS 计量项目根据七大挑战确定的计量需求调整其研发组合:
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    材料纯度、特性和来源计量未来微电子制造的先进计量先进封装中集成组件的计量启用计量半导体材料、设计和组件的建模和仿真​​​​​​​​​​​​​​​​半导体制造工艺的建模和仿真微电子新材料、工艺和设备的标准化用于增强微电子组件和产品安全性和来源的计量
  • 材料纯度、特性和来源计量
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  • 未来微电子制造的先进计量学
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  • 启用计量学以集成先进封装中的组件
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  • 半导体材料、设计和组件的建模和仿真
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    摘要:

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