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亚微米面板级封装的光刻解决方案
摘要 逻辑、存储器、光子、模拟和其他增值功能的异构集成是提高电子系统效率、性能和带宽同时有助于降低总体制造成本的一种方法。为充分利用异构集成的优势，设计人员需要更精细分辨率的重分布层图案和更大的封装尺寸，以最大限度地提高系统级封装集成的可能性。大封装电子系统的生产非常适合面板级封装 (PLP)，而在整个矩形面板上实现均匀的亚微米图案化是一项关键的光刻挑战。为应对这一挑战，佳能开发出第一台能够在 500 毫米面板上实现亚微米分辨率的光刻曝光系统或步进机。步进机具有面板处理系统，可处理最大尺寸为 515 mm x 515 mm 的面板，还配备了宽视场投影镜头，其最大数值孔径为 0.24，像场为 52 mm x 68 mm。本文将报告使用面板步进机的亚微米 PLP 工艺的评估结果，并介绍高分辨率 PLP 工艺的挑战，包括翘曲面板处理。将报告覆铜板 (CCL) 基板的工艺结果，包括图案均匀性、相邻镜头拼接精度和包含扇出工艺中常见的芯片放置误差的基板上的叠加精度。关键词先进封装、扇出、面板级封装、步进机、亚微米、光刻、系统级封装
亚微米颗粒紫杉醇局部给药至固体
摘要 本报告描述了亚微米颗粒紫杉醇 (SPP) (NanoPac®：~ 800 纳米大小的颗粒，具有较高的相对表面积，每个颗粒含有 ~ 20 亿个紫杉醇分子) 在临床前模型和评估癌症治疗的临床试验中的局部给药。紫杉醇可用于治疗上皮性实体瘤，包括卵巢癌、腹膜癌、胰腺癌、乳腺癌、食道癌、前列腺癌和非小细胞肺癌。SPP 已直接输送到实体瘤，颗粒被保留并持续释放药物，使原发性肿瘤暴露于高治疗水平的紫杉醇数周。结果，肿瘤细胞死亡从主要凋亡转变为凋亡和坏死性凋亡。紫杉醇的直接局部杀瘤作用以及对先天和适应性免疫反应的刺激有助于抗肿瘤作用。局部施用 SPP 可促进肿瘤对全身化疗、靶向治疗或免疫治疗的反应，而不会产生全身毒性。本文描述的临床前和临床研究结果表明，局部施用 SPP 可获得临床益处，且毒性可忽略不计，并可作为转移性疾病标准治疗的补充。
恒亚微电子股份有限公司
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光学显微镜中的亚微米线宽计量
低至 366 nm 汞线），可以对低至约 0.3 Ilm 的线宽进行光学测量（对于 366 nm 的 f/1 光学元件，艾里斑直径为 0.45 Ilm）。但是，要达到如此窄的线宽，必须对图像中的衍射效应进行建模，并制定一个有意义的标准，确定图像轮廓上的哪个点对应于线的边缘。随着特征高度变得大于大约四分之一波长，并且纵横比（特征高度/宽度）接近并大于 1，这种建模变得越来越困难。这种困难部分是数学上的（例如，不能使用标量理论将特征视为平面，并且对于小线宽和大纵横比，相邻边缘的衍射效应会相互作用）。困难的部分原因还在于，随着特征高度的增加和边缘几何形状与理想垂直形状的偏离，衍射效应变得更加明显，并从边缘进一步传播。事实上，对于大纵横比和非垂直壁，“线宽”的定义本身就有多种解释。