低至 366 nm 汞线），可以对低至约 0.3 Ilm 的线宽进行光学测量（对于 366 nm 的 f/1 光学元件，艾里斑直径为 0.45 Ilm）。但是，要达到如此窄的线宽，必须对图像中的衍射效应进行建模，并制定一个有意义的标准，确定图像轮廓上的哪个点对应于线的边缘。随着特征高度变得大于大约四分之一波长，并且纵横比（特征高度/宽度）接近并大于 1，这种建模变得越来越困难。这种困难部分是数学上的（例如，不能使用标量理论将特征视为平面，并且对于小线宽和大纵横比，相邻边缘的衍射效应会相互作用）。困难的部分原因还在于，随着特征高度的增加和边缘几何形状与理想垂直形状的偏离，衍射效应变得更加明显，并从边缘进一步传播。事实上，对于大纵横比和非垂直壁，“线宽”的定义本身就有多种解释。