2022 年第 1 届光电子、材料和可再生能源国际会议 (ICOMRE'22) 将于 2022 年 12 月 12 日至 13 日在阿尔及利亚 El Oued 举行。会议由阿尔及利亚 LEVRES 撒哈拉能源资源开发和增值实验室组织。ICOMRE'22 的主要目的是将所有潜在参与者聚集在一起:来自多个国家的行业、专家、研究人员、学者、制造商和供应商,以回顾这些领域取得的最新进展,并交流研究想法,探索光电子、材料和可再生能源领域的当前挑战。
光电探测器是指能够将入射光转换为电信号的光电子器件,是环境监测、消防和安全、光通信、太空探索和视频成像等多个领域的重要功能元件[1,2]。光电探测器采用了不同类型的半导体材料,例如GaN、InGaAs、Si、ZnO、碳纳米管、共轭聚合物和量子点[3]。基于这些材料的器件需要复杂而昂贵的制造成本和机械刚性。在过去的十年中,金属卤化物钙钛矿材料因其在光伏和光电子器件中的广泛应用而引起了研究人员的极大兴趣[4]。由于其突出的高性能、低成本和溶液可加工性,这类材料已经成为未来大量光伏和光电子器件的潜在候选材料[5]。在众多可用的金属卤化物中,甲基铵碘化铅 (MAPbI 3 ) 已被广泛研究用于光伏和光传感应用 [ 6 ]。事实上,钙钛矿材料在光伏器件中已经实现了显著的效率,但这些太阳能电池
3 3光电半导体元件光电子半导体设备3 3 3光电子学光电2 4光电实验技术光电子实验室光电工程概论3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3个测量系统的量度测量系统。测量系统设计半导体元件及材料特性分析3 3 3分析半导体设备和材料半导体元件物理33 3 3 3 3 3 3半导体行业和技术的特殊主题半导体磊晶技术3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3半导体制程技术半导体处理技术纳米科学和技术简介3 3 3微电子材料与制程微电源材料和加工新兴奈米电子元件与奈米光子结构33 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3量子机制3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 quant
使用不同靶到基片距离的化学计量氮化硅靶,通过射频磁控溅射在单面 P 型抛光掺硼硅晶片基片上沉积氮化硅薄膜。改变靶到基片的间距(非常规参数)以优化表面粗糙度和晶粒尺寸。这种优化提供了均匀、密集的氮化硅薄膜的正态分布,没有表面裂纹。采用原子力显微镜探索氮化硅薄膜的精确表面粗糙度参数。所有样品的表面粗糙度和晶粒分析都表现出直接关系,并与靶到基片的间距呈反比关系。通过以下参数分析了 Si3N4 的表面形貌:平均粗糙度、均方根粗糙度、最大峰谷高度、十点平均粗糙度、线的偏度和峰度。氮化硅薄膜的表面粗糙度在基于氮化硅波导的生物传感器制造中具有重要意义。 (2022 年 8 月 4 日收到;2023 年 4 月 3 日接受) 关键词:原子力显微镜、射频磁控溅射、氮化硅、靶材到基板间距、薄膜 1. 简介 氮化硅具有卓越的光学、化学和机械性能,是微电子学中用作电介质和钝化层 [1] 以及微机电系统 (MEMS) 中结构材料最广泛的材料 [2, 3]。氮化硅薄膜由于其在可见光和近红外 (NIR) 区域的高折射率和透明度,在光电子应用中也发挥着至关重要的作用 [4, 5]。氮化硅薄膜在光电子领域的主要应用是基于光波导的生物传感器作为平面光波导 [6-8]。平面光波导是一种三层结构,其中通常称为芯的高折射率薄膜夹在两个低折射率膜(称为下包层和上包层)之间。平面波导内部的光传播基于全内反射原理。据报道,光波导中芯体表面的粗糙度是造成波导边界处光传播损耗的原因 [10, 11]。这是由于界面处的反射和折射现象而不是全内反射造成的。芯体的粗糙表面可以将光散射到不同方向。芯体和包层之间的折射率差 ∆n 越大,光在芯体中的限制就越大。因此,由于氮化硅的折射率约为 2,而二氧化硅的折射率约为 1,因此二氧化硅/氮化硅/二氧化硅的特定结构是平面光波导的合适候选材料。46 作为上下包层,折射率差 ∆n ~ 0.5[9]。Si 3 N 4 薄膜通过低压化学气相沉积、热蒸发、等离子体增强化学气相沉积和磁控溅射系统制备[12-16]。然而,磁控溅射技术由于无毒气体、低温沉积、易于调节沉积速率和沉积系统简单而比 PECVD 技术具有相当大的优势[17]。薄膜的常规参数
摘要:简介:探索太空并收集有关其大气状况的数据可以推动先进空间技术的发展,例如大气传感器和远程监控系统。然后,在天体物理学和太空探索等看似遥远的领域的科学研究可以通过促进创新和可持续技术发展为实现可持续发展目标做出贡献。方法:我们提出了一种基于沿特征函数获取的短期平均/长期平均相位选择器来识别光电子峰的自动四步检测算法。在声明检测之后,对较长的信号窗口进行附加分析以表征光电子峰并消除噪声干扰。结果:该算法的模块化设计使得可以在四个步骤中的任何一个步骤中替换替代策略,并在新数据集上快速实施。讨论:通过基于所有可用土卫六飞越数据的概览示例说明了该算法的实用性。有关土卫六大气中光电子峰的知识可以提供对应对地球气候变化有价值的见解。结论:了解行星等离子体环境,包括它们与太阳风和其他空间天气现象的相互作用,可以间接有助于我们了解地球气候系统。
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由球形栅格组成的减速场分析仪(RFA)可用作二维角分辨光电子能量分析仪(Kanayama等,1989)。然而,传统三栅格RFA的典型分辨力(E / E)为100(Taylor,1969),对于光电子衍射或光电子全息术来说太低了(Matsushita等,2010)。我们之前报道了一种增强E / E的栅格排列(Muro等,2017)。在改进的排列中,第一和第二栅格之间的距离比第二和第三个栅格之间的距离长得多,如图1(a)所示,而在大多数传统RFA中,这些距离是相同的。采用改进布置在 SPring-8 的 BL25SU(Senba 等人,2016 年)上开发的 RFA 显示 E / E 为 1100(Muro 等人,2017 年)。第一、第二和第三个栅格的半径分别为 12、40 和 42 毫米。第二个栅格即减速栅格使用目数为 250 的编织钨网。光电子接受角为 49 度,受图 1(a)所示探测器直径的限制。我们的模拟还预测,当网状减速栅格被部分球壳(如带有径向圆柱孔的圆顶)取代时,E / E 可以进一步增强,如图 1(b)所示。以下我们将这样的栅格称为有孔栅格。试验性制作了一个开孔面积较小的网格,对应接收角为7°,圆柱直径为60 mm,深度即球壳厚度为100 mm,相邻两个孔中心位置之间的距离即孔距为100 mm,球壳内半径为40 mm,与网状减速网格相同。装有该网格的RFA