摘要 为了将利用电子束光刻技术制作的抗蚀剂图案应用于纳米压印模具,不仅需要考虑从曝光顶面二维观察到的线宽和孔径,还需要考虑包括抗蚀剂横截面形状在内的三维情况。在本研究中,我们关注图案内部的剂量分布和显影时间,并研究它们对抗蚀剂横截面形状的影响。采用曝光方法制作线宽为 100nm 的抗蚀剂图案,其中一条线内的总剂量相同,但一条线内的电子束扫描位置和次数会发生变化。通过电子散射模拟分析的剂量分布与解析后的图案侧壁形状之间的比较结果表明,在特定条件下,剂量分布和实际的抗蚀剂形状在 ±5nm 精度内相互一致。结果表明,即使整个图案的平均剂量相同,抗蚀剂侧壁的实际形状也会因取决于扫描位置和扫描次数的抗蚀剂中的局部剂量分布而改变。此外,我们通过观察不同显影时间下曝光后的抗蚀剂的显影过程,研究了抗蚀剂的分辨机理。结果表明,图案内部剂量的差异引起的显影速度差异对抗蚀剂的截面形状产生影响。本研究结果表明,抗蚀剂内部剂量分布和由此引起的显影速度差异对抗蚀剂截面形状有显著影响,这些参数有望在未来应用于所需截面形状的制作。
13 其他 (1)参加前请务必充分理解投标和合同准则。 (2)投标人须提交资格审查结果通知书复印件。 (3)作为促进公共工程项目中排除有组织犯罪的措施,审查招标和承包指南,并在投标文件的空白处写上“本公司承诺遵守招标和承包指南中概述的有关排除有组织犯罪的承诺”。 (4)如以代表身份投标,须在投标时提交“委托书”。 (5)为了采取一切可能的措施防止新冠病毒的传播,我们将通过邮寄方式进行投标,以减少直接接触。 (6) 如果您通过邮件投标,邮件必须在 2024 年 6 月 18 日星期二下午 4:00 之前到达承包官员,由发件人决定。此时,请将投标文件放入内信封,并在内信封上写明公司名称、投标日期和时间、投标主题,并用红墨水清楚地注明“随附投标文件”。此外,必须在投标时间之前亲自提交文件。 (7)如初次投标不成功,我们将另行联系您,商讨重新投标的时间等。 (8)当我们要求进行市场价格调查等时,请予以配合。 (9)投标及合同条款相关咨询处:〒907-0003 冲绳县石垣市平道里1273-1 404 陆上自卫队石垣警备队第445会计部队承包课 担当:本乡 电话:0980-98-0008(内线344)传真:0980-82-1145(直拨) (10)规格等相关咨询处:陆上自卫队石垣警备队作战部队管理课 担当:赤峰 电话:0980-98-0008(内线323)
引用格式 : 韩盈 , 陆唐胜 , 陆林 .应激诱发抑郁的潜在机制和新治疗靶点 ——LBP 抑制单胺生物合成 .中国科学 : 生命科学 , 2023, 53: 1176–1178 Han Y, Lu T S, Lu L. New target for antidepressant development and depression treatment—LBP inhibition of monoamine biosynthesis (in Chinese).Sci Sin Vitae, 2023, 53: 1176–1178, doi: 10.1360/SSV-2023-0049
面对一线抗疟药物的耐药性不断出现,抗疟药物发现渠道中新候选分子的发现取得了巨大进展。然而,在现阶段,大多数后期候选分子都是通过对现有支架进行修改或通过表型筛选方法获得的。考虑到预期的损耗,保持早期发现渠道畅通非常重要。由于许多唾手可得的成果都是从经过全细胞抗疟活性测试的库中摘取的,研究人员正在寻求利用新技术(如低温电子显微镜)来解析结构,并且现已发现了大量经过化学验证的药物靶标,并进一步探索靶向药物发现。基于靶标的药物发现(包括基于结构的药物发现)很有吸引力,因为它可以更好地提炼化合物并提高效力和选择性。
Bilel Si Smail、Thomas Cailloux、Yann Quinsat、Wilfried Pacquentin、Srikanth Narasimalu 等。使用激光金属沉积修复不锈钢 316L 部件点蚀的综合方法。《制造工艺杂志》,2023 年,95,第 1-13 页。�10.1016/j.jmapro.2023.04.007�。�hal-04071595�
2024年6月19日 — (4)防卫政策局局长、采购、技术和后勤局局长或陆上自卫队参谋长...... (3)设计文件中指定的标有JIS或JAS标记的材料或标准、准则等......
引用本文: 于乃功, 谢秋生, 李洪政.基于点云处理的仿人机器人楼梯障碍物识别与剔除方法[J].北科大:工程科学学报 , 2025, 47(2): 339-350. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2024.05.10.001 YU Naigong, XIE Qiusheng, LI Hongzheng.Obstacle recognition and elimination method for humanoid robots based on point cloud processing[J].Chinese Journal of Engineering , 2025, 47(2): 339-350. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2024.05.10.001
