激光剥离 (LLO) 通常用于将功能薄膜与下面的基板分离,特别是将基于氮化镓 (GaN) 的发光二极管 (LED) 从蓝宝石中分离出来。通过将 LED 层堆栈转移到具有定制特性的外来载体(例如高反射表面),可以显著提高光电器件的性能。传统上,LLO 是使用纳秒级的紫外激光脉冲进行的。当指向晶圆的蓝宝石侧时,蓝宝石/GaN 界面处的第一层 GaN 层吸收脉冲会导致分离。在这项工作中,首次展示了一种基于 520 nm 波长的飞秒脉冲的 LLO 新方法。尽管依赖于亚带隙激发的双光子吸收,但与传统的 LLO 相比,超短脉冲宽度可以减少结构损伤。在详细研究激光影响与工艺参数的关系后,我们开发了两步工艺方案,以制造边长可达 1.2 毫米、厚度可达 5 微米的独立 InGaN/GaN LED 芯片。通过扫描电子显微镜和阴极发光对分离的芯片进行评估,结果显示 LLO 前后的发射特性相似。
图2 LIDT测量的实验设置:λ /2-半波长相板,p-偏振器,w-楔子,l-镜头,镜头,pm -power仪。在这里:红色箭头 - 泵辐射(1.03 µm),绿色箭头 - 泵的第二个谐波(0.515 µm); b)YB的自相关轨迹:kgw(Pharos)辐射,通过自相关器(GECO,Light Conversion Co,Ltd)和C)571 kHz和298 fs的LIDT测量测量(P OUT-输出功率,P IN- IN -ID IND -ID型泵送功率)。
老材料在微电子领域的重要性日益凸显,不仅体现在二级封装(即印刷电路板组装层面),也体现在一级封装(例如,图 1 a 所示的倒装芯片组装)中。1 在这些应用中,各种类型、不同尺寸的焊料凸块用于三维集成电路 (3D-IC) 的复杂互连。1a 典型焊料凸块的构建示意图如图 1 b 所示。当今 300 毫米晶圆级焊料凸块应用技术上最相关的合金材料是电沉积共晶 SnAg。1b 然而,由于 Sn 2+ 和 Ag + 离子的标准还原电位差异很大(ΔE0≈0.94V),通过电化学沉积制造 SnAg 合金是一项艰巨的任务。为了解决这个问题,通常会在 SnAg 电镀液中添加络合剂和螯合剂,这些络合剂和螯合剂选择性地作用于较惰性的 Ag + 离子,从而减慢其沉积速度以与 Sn 2+ 相兼容,并促进两种金属的共沉积。2 这是实现所需合金成分的关键先决条件。3 此类络合剂和螯合剂的另一个补充功能是稳定含 Sn 电解质中的 Ag + 离子,防止其还原为金属 Ag 以及随之而来的 Sn 2+ 氧化
2000 年代初频率梳的出现彻底改变了光学频率(即几百太赫兹)的计量学,并刺激了以光学跃迁为参考的新一代原子钟的发展。这些梳子由飞秒脉冲激光器制成,是当今在光域时钟与微波域主要标准之间以及在不同频率运行的两个光时钟之间进行频率比较的最有效、最可靠的方法。在本文中,我们介绍了 LNE-SYRTE 开展的各种工作,旨在表征这些设备,并使它们达到一定的性能水平,从而不会限制使用实验室时钟进行的测量。
摘要:20 世纪 90 年代末,锁模飞秒激光器被引入,成为合成和测量光频率的重要新工具。飞秒激光器的简单性、坚固性和更高的精度使其在光学频率计量领域占有重要地位。此外,它们的使用正在开发基于载波包络相位精确控制的重要新时域应用。预计参考原子和离子中的光学跃迁的窄线宽激光器将很快成为任何类型的最佳电磁频率参考,其预计分数频率不稳定性低于 1 × 10 -15 τ -1/2,不确定性接近 1 × 10 -18 。当与这种超精密频率标准结合使用时,飞秒激光器可用作宽带合成器,将输入光频率相位相干地转换为跨越数百太赫兹的光频率阵列和可计数的微波频率。综合过程中引入的过量分数频率噪声可接近1×10 -19 的水平。
摘要:20 世纪 90 年代末,锁模飞秒激光器被引入作为合成和测量光频率的重要新工具。飞秒激光器的简单性、稳定性和更高的精度使其在光频率计量领域占有重要地位。此外,它们的使用正在开发基于精确控制载流子包络相位的重要新时域应用。预计参考原子和离子中的光学跃迁的窄线宽激光器将很快成为任何类型的最佳电磁频率参考,预计分数频率不稳定性低于 1 × 10 -15 τ -1/2,不确定性接近 1 × 10 -18 。与此类超精密频率标准结合使用时,飞秒激光器可充当宽带合成器,将输入光频率相位相干地转换为跨越数百太赫兹的光频率阵列和可计数的微波频率。合成过程中引入的过量分数频率噪声可接近 1 × 10 -19 的水平。
摘要:20 世纪 90 年代末,锁模飞秒激光器被引入,成为合成和测量光频率的重要新工具。飞秒激光器的简单性、坚固性和更高的精度使其在光学频率计量领域占有重要地位。此外,它们的使用正在开发基于载波包络相位精确控制的重要新时域应用。预计参考原子和离子中的光学跃迁的窄线宽激光器将很快成为任何类型的最佳电磁频率参考,其预计分数频率不稳定性低于 1 × 10 -15 τ -1/2,不确定性接近 1 × 10 -18 。当与这种超精密频率标准结合使用时,飞秒激光器可用作宽带合成器,将输入光频率相位相干地转换为跨越数百太赫兹的光频率阵列和可计数的微波频率。综合过程中引入的过量分数频率噪声可接近1×10 -19 的水平。
摘要:20 世纪 90 年代末,锁模飞秒激光器被引入,成为合成和测量光频率的重要新工具。飞秒激光器的简单性、坚固性和更高的精度使其在光学频率计量领域占有重要地位。此外,它们的使用正在开发基于载波包络相位精确控制的重要新时域应用。预计参考原子和离子中的光学跃迁的窄线宽激光器将很快成为任何类型的最佳电磁频率参考,其预计分数频率不稳定性低于 1 × 10 -15 τ -1/2,不确定性接近 1 × 10 -18 。当与这种超精密频率标准结合使用时,飞秒激光器可用作宽带合成器,将输入光频率相位相干地转换为跨越数百太赫兹的光频率阵列和可计数的微波频率。综合过程中引入的过量分数频率噪声可接近1×10 -19 的水平。
