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摘要:我们报告了一种嵌段共聚物 (BCP) 定向自组装 (DSA) 的方法,其中第一层 BCP 膜部署均聚物刷或“墨水”,这些刷或“墨水”在现有聚合物刷上方的聚合物膜热退火期间通过聚合物分子的相互渗透依次接枝到基材表面。通过选择具有所需化学性质和适当相对分子量的聚合物“墨水”,可以使用刷相互渗透作为一种强大的技术,以与 BCP 域相同频率生成自配准的化学对比模式。结果是一种对引导模式中的尺寸和化学缺陷具有更高容忍度的工艺,我们通过使用均聚物刷作为引导特征而不是更坚固的可交联垫来实现 DSA 来展示这一点。我们发现使用“油墨”不会影响线宽粗糙度,并且通过实施稳健的“干剥离”图案转移,验证了 DSA 作为光刻掩模的质量。关键词:定向自组装、嵌段共聚物、薄膜、先进光刻、缺陷率■ 简介
背景 60 号街区东区规划区(以下简称“标的土地”)北以麦肯齐大道为界,南以卢瑟福路为界,西以太平洋铁路走廊为界,东以与 27 号公路平行的未开放道路许可为界。标的土地面积约为 110 公顷。标的土地,包括参与和未参与土地所有者拥有的土地,可在附件 3 中找到。60 号街区东区以北的土地主要是现有或计划中的低密度住宅区。60 号街区东区以西的土地主要是农业用地,南面是大片住宅区和未来规划的住宅区。西面是现有的商业用途、农业和住宅区。如 Vaughan 官方规划 2010 附表 13 所示,相关土地被指定为“自然区域”和“低层住宅”。街区内的可开发土地被指定为“低层住宅”,允许建造各种类型的房屋,包括独立式住宅、半独立式住宅和联排别墅。如 VOP 2010 附表 5 所示,第 60 街区东侧土地的一部分曾作为“前骨料开采作业”运营。该地点已不再进行骨料开采。骨料场地的原入口在市政部门称为 9270 Highway 27,归参与土地所有者 Novagal Developments Inc. 所有。街区规划申请流程是由街区土地所有者发起的综合规划流程。街区规划申请流程不是 1990 年规划法的法定要求。通过 Vaughan 官方计划 2010 (VOP 2010) 研究过程,确定了与省级政策声明 (PPS) 和其他适用的省级计划的一致性。拟议的 60 号街区东街区计划申请正在此背景下进行审查。街区计划流程是 VOP 2010 第 10 章第 10.1.1.14 至 10.1.1.26 节中所含政策所要求的。政策 10.1.1.15 规定“街区计划是一个综合规划框架,描述了如何处理以下发展政策方面:
简介在受认可计划约束的区域,NJAC 5:85-8.3 允许州规划委员会根据与州规划的目标、战略、政策和划定标准相关的新信息启动对州规划政策图的修订,前提是,修订将改变作为采用州规划政策图基础的假设。莱克伍德镇于 2017 年 12 月 7 日获得了其市政总体规划的规划认可,并已编制此州规划政策图修订提案,以配合其对规划实施协议工作状况的两年一次审查。本次拟议的州规划政策图修订主题是:莱克伍德镇的街区 549.01,地块 1;街区 549.02,地块 1;以及街区 554,地块 1。本提案旨在满足 NJAC 5:85-8.4 的适用要求。
PUROS DBM具有反相培养基(带有RPM)腻子,带有碎屑,凝胶和糊状的油灰是由反向相培养基中脱矿物骨基质组成的骨移植替代物。PUOS DBM带有RPM产品旨在刺激自然骨形成过程,其中间充质细胞分化为骨形成细胞。由于反相培养基在温度温度下变得更粘,因此同种异体移植物可在手术室温度下延展,但在放置在手术部位时会变硬。因此,DBM包含在手术部位,通过灌溉和吸力损失最小。
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