摘要 — 我们研究了具有 TiN/Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 /SiO 2 /Si (MFIS) 栅极结构的 FeFET 在耐久疲劳过程中的电荷捕获。我们提出了一种通过测量金属栅极和 Si 衬底中的电荷来实验提取存储器操作期间捕获电荷数量的方法。我们验证了在耐久疲劳过程中捕获电荷的数量会增加。这是第一次通过实验直接提取捕获电荷并验证其在耐久疲劳过程中会增加。此外,我们模拟了耐久疲劳过程中捕获电荷和铁电极化切换之间的相互作用。通过实验结果和模拟数据的一致性,我们证明了随着存储窗口的减小:1) Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 的铁电特性没有降低。2) 栅极堆栈上带隙中的陷阱密度增加。3) 存储窗口减小的原因是编程操作后捕获电子增加,而与空穴捕获/去捕获无关。我们的工作有助于研究FeFET的电荷捕获行为和相关的耐久疲劳过程。
根据此时间表收取的资金将按以下方式分配: 1. 根据标准费率收取的资金将分配给俄勒冈能源信托的能源效率计划 92.7%、公司能源效率计划和管理 1.9%、需求响应计划 2.7%、交通电气化计划 2.3%、CBIAG 0.4%。 2. 根据针对合格消费者的限制费率收取的资金将分配给俄勒冈能源信托的能源效率计划 74.0%、公司能源效率计划和管理 1.5%、需求响应计划 11.6%、交通电气化计划 11.1%、CBIAG 1.8%。 限制系统福利费的资格 在上一年度在任何站点(定义如下)使用了超过一兆瓦平均电力的零售电力消费者将被征收上述限制系统福利费,以代替标准系统福利费。根据 2021 年俄勒冈州法律,Ch。 547,§3,零售电力消费者在前一年在任何场地的平均用电量超过一兆瓦时,其能源效率费用不得超过从任何来源向场地出售电力服务所获得的总收入的 1.7%。根据 2021 年俄勒冈州法律,第 547 章,§3:(a) “单一连续区域”包括公共或铁路通行权穿过的土地区域,但不包括位于公共或铁路通行权内的基础设施,以确定单一连续土地区域是否构成场地。
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图4。MOS 2 /WS 2杂波的压力依赖性电荷和能量转移。(A-B)(a)导带和(b)价带的电荷密度是沿平面方向压力的函数。(c)示意图证明了随着压力增加的电荷密度和电荷转移。直和波浪箭分别表示电荷转移和辐射衰减。(d)MOS 2 / WS 2异质结构的带状电荷密度,与MOS 2(底部) / WS 2(顶)异质结构的侧视图叠加。p1,p2和p3是代表性压力点,在电荷或轨道对传导带中的显着变化分别对应于〜13 GPA,〜22 GPA和〜30 GPA。
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