论文是在CMOS平台技术和应用领域(例如HPC,LOP,移动,汽车,低温CMO等领域的征求力。),逻辑设备和电路,高级节点的过程集成方案,材料,过程和计量技术的创新以及设计技术合作化(DTCO)和系统技术协会(STCO)。平台技术包括最先进的SI和超越SI通道设备,全面的设备,具有不同极性晶体管的堆叠设备,高级互连,新颖的功率分布集成方案,异源2.5D/3D集成方案和Beol兼容晶体管。设备架构,设备设计和分析,过程集成,过程和模式的模块进步,计量学,物理布局效应,可变化降低的技术,收益率,dtco/stco在征求区域中的方法和解决方案具有很高的兴趣。
Lado Filipovic 教授 奥地利维也纳科技大学 维也纳技术大学微电子研究所多尺度工艺 TCAD 近年来,微电子行业经历了重大创新。涉及平面晶体管缩放的数十年技术路线图已演变为对硅以外最佳几何形状和材料的搜索。电路设计师和制造工程师不能再享受数十年单纯针对硅的实验数据带来的好处。技术计算机辅助设计 (TCAD) 和设计技术共同优化 (DTCO) 策略需要进行调整,以通过多尺度建模方法寻找新材料,其中材料的原子行为可为设计决策提供信息。随着设计裕度的持续减少,工艺变异性正成为一个重要问题。了解设备级和晶圆间变异至关重要。然而,当前的物理沉积和蚀刻模型并不能直接链接到设备输入。本次演讲将讨论过程模拟和仿真的现状,以及我们为协助微电子行业(包括半导体制造商和电子设计自动化 (EDA) 供应商)而开发的成果。在设计过程中加入 TCAD 和 DTCO 已经变得非常有价值。我将讨论机器学习如何帮助将特征尺度建模与反应堆级输入和设备可变性相结合。最终,我们旨在实现一种数字化 DTCO 策略来进行设计发现,同时通过减少对实验过程开发的依赖来降低设计周期的成本、时间和环境影响。关于演讲者:Lado Filipovic 是维也纳技术大学微电子学和纳米电子学副教授,也是 Christian Doppler 半导体器件和传感器多尺度过程建模实验室主任。他于 2020 年和 2012 年在维也纳技术大学获得了半导体集成传感器方面的博士学位 (venia docendi) 和微电子学博士学位 (Dr.techn.)。他是基础科学和工业相关研究项目的首席研究员。他的主要研究兴趣是使用先进的工艺和设备建模来制造、操作、稳定性和可靠性新型半导体器件和传感器;以及涉及半导体器件和传感器制造过程的多尺度建模。这涉及将原子建模与蒙特卡罗和连续方法相结合,以及将物理模型与经验几何描述符合并在一个框架中,特别是用于过程 TCAD。他的团队已经发布了几种开源软件工具来模拟半导体器件制造(ViennaPS - https://github.com/ViennaTools/ViennaPS )和操作(Vien- naEMC - https://github.com/ViennaTools/ViennaEMC )。他目前还在研究机器学习与过程 TCAD 的有效集成,以将从头计算与分子动力学相结合,辅助材料和设计发现,并结合特征规模和反应堆规模模型。
• Atomic Mass Unit (amu) • AWS: Amazon Web Services • Bump Plating Photoresist (BPR) • Chip to Wafer (CtW) • CL: Confidence Level • CMOS: Complementary metal-oxide semiconductor • Commercial Off The Shelf (COTS) • Complementary Field Effect Transistor (CFET) • ConOps: Concept of Operations • continuous wave (CW) • DDD: Displacement Damage Dose •设计技术合作/合成技术合作选择(DTCO/STCO)•动态随机访问记忆(DRAM)•EDAC:错误检测和校正•EEEE•EEEE•EEEE:电气,电子,电子力学和电流和电流和电子光学和电力•嵌入式动态随机访问记忆(EDRAM)晶体管(FEFET)•铁电随机访问存储器(FERAM)•铁电隧道连接(FTJ)•FET:FET:现场效应晶体管•FPGA•FPGA:现场编程的门阵列•完全自我对齐(FSAV)•GrandAccélérateurNational d'ions d'ions d'ions d'Ions d'ions lourds lourds(Ganil)
在过去的半个世纪里,摩尔定律在半导体领域的发展中扮演了至关重要的角色,而半导体领域的发展直接依赖于大约每两年一次的维度缩放。在每个技术节点上,微芯片的性能、功率、面积和成本 (PPAC) 都有望实现显著提升。然而,通过提高分辨率技术实现的激进间距缩放变得越来越难以维持。短沟道效应,例如高漏电流、漏极诱导势垒降低效应,会大大降低器件性能。因此,由于优越的静电可控性,器件架构从平面迁移到 3D 鳍状结构已被采用,以继续进一步缩放的步伐。目前,2020 年 5 纳米技术节点的栅极长度已令人难以置信地缩小到 12 纳米以下,接近量子力学极限。为了解决持续缩放问题,已经开发出一种工艺流程和设计定义之间的联合设计技术协同优化 (DTCO) 工作,它有助于通过及早识别缩放瓶颈并找到不会给设计或工艺点带来过重负担的路径来管理先进技术节点的提升。借助这种方法,摩尔定律可以继续推动其向 3 纳米以下节点迈进。
单击化学是指与高热力学力量快速完成的反应,以高收率产生单个产品。4通过使用可点击部分进行功能化,从药物中得出的单击探针通过单击探针和相关疾病模型中选择的记者之间的选择性反应实现结合。In previous work, we demonstrated that this strategy can be used to identify drug targets and off-targets, visualise the cellular localization of the probe and measure target engagement of non-derivatised drug compounds.5 In the same study, different click reactions were compared and the inverse electron demand Diels Alder (IEDDA) reaction between a trans-cyclooctene (TCO) and a tetrazine was identified as the most efficient.在我们的点击探针策略中,IEDDA反应的出色性能归因于其无与伦比的动力学。6TCO与四嗪的选择性和高反应性,结合其在水溶液中的延长稳定性,使其成为非常有吸引力的单击部分。尽管如此,TCO是一个疏水群。连接到药物时,它可能会影响点击探针的物理化学特性以及药物的药理特性。在这种情况下,几个研究小组已经做出了相当大的努力,以开发出具有疏水性降低的新的跨环烯衍生物(例如oxotco)7或更快的动力学(例如STCO,DTCO).8,9
致谢 本报告由 ODI 团队起草,该团队由 Philipp Krause、Stephanie Sweet、Edward Hedger 和 Bhola Chalise 组成。Hiramani Ghimire 和 Bigyan Pradhan 在世界银行驻尼泊尔国家办事处的 Tahseen Sayed 的指导下管理了这项研究。该团队谨对尼泊尔政府在 ODI 团队于 2012 年 10 月和 2013 年 2 月访问尼泊尔期间给予的热情款待和支持表示感谢。特别感谢 PEFA 指导委员会成员,该委员会由财政部长 Krishna Hari Baskota 于 2012 年 10 月担任主席,由 Shanta Raj Subedi 于 2013 年 2 月担任主席。我们还要感谢 Pratap Kumar Pathak 和 Narendra Dahal 在不同时期担任金融审计长时给予的指导和支持。Mahesh Prasad Dahal 领导 PEFA 秘书处,是政府方面研究的联络人,他为研究团队提供了宝贵的支持。Suresh Pradhan 接替他担任 PEFA 秘书处的协调员,并提供类似的支持,并加入团队进行实地考察。FCGO/PEFA 秘书处的 Rajendra Bajracharya 和 Baburam Subedi 通过协调 FCGO 对报告草案的回应来支持这项工作。该团队还想记录下对 DTCO 负责人及其在 Kavre、Chitwan、Rupandehi 和 Palpa 的同事的感谢,感谢他们非常热情的支持,不仅在收集信息方面,而且在召集与各地区相关对话者的互动方面。特别感谢 Suresh Pradhan 及其在 FCGO 的团队,他们在协助会议和提供数据和报告方面发挥了重要作用。如果没有他们的帮助,团队不可能在有限的时间内覆盖如此多的内容。尽管还有其他紧迫的任务,但加德满都和全国各地的所有受访者(请参阅附录 B 中的受访者名单)都非常慷慨地付出时间和见解。我们要感谢世界银行和 PFM 多捐助方信托基金的成员,包括 DFID、AusAID、挪威、丹麦和欧盟,感谢他们在国家访问期间和远程与团队合作并提供资金。世界银行华盛顿特区办事处的 Verena Fritz 在整个过程中提供了有益的评论和指导,并参加了两次国家访问。我们收到了来自 Hiramani Ghimire、Bigyan Pradhan 和 Verena Fritz 以及多个政府机构和发展伙伴对本报告早期草稿的大量评论和反馈。Ruth Larbey 和 Roo Griffiths 编辑了本报告。Suran KC Shrestha 在团队在尼泊尔期间提供了宝贵的后勤支持。所有事实或判断错误均由作者负责。本报告中表达的调查结果、解释和结论完全是作者的观点,并不一定代表世界银行集团、其执行董事或他们所代表的国家的观点,也不应该归咎于他们。