设计、生产并测试了一种 LTCC 微流体装置,该装置带有流体混合曲流、Y 型试剂接头、光学检测通道、光纤、流体输入/输出、加热器、温度传感器和专用温度控制器。连接光纤的配置允许测量光透射率和荧光强度。该装置用于液体的化学分析。微流体系统通过长光纤连接到典型的分析紫外-可见光和荧光光谱微分析系统。Golonka 等人在论文中介绍了系统中测得的光透射率和荧光。18 本文介绍了一种类似的系统,其中包含短石英光纤以及与 LTCC 模块集成的光源和检测器。介绍了微流体系统技术、石英光纤集成方法和温度控制器。为了验证透光率的测量效率,使用蠕动泵将 Ponceau IV R 溶液泵入 LTCC 微系统。使用光纤在 l 5 502 nm 处进行光学检测。采用高效 LED 作为光源,通过一根光纤将光传输到检测通道。另一根光纤连接到集成光检测器。
LTCC(低温共烧陶瓷)是一种多层基板技术,具有出色的射频和微波性能特征。其低烧结温度(约 900°C)允许与银和金等高导电性金属共烧。LTCC 基板具有出色的机械和电气性能,再加上嵌入无源元件的能力,可为高频应用提供卓越的射频性能和设备小型化。
为了表征该技术,我们进行了几种层压实验:• 第一次层压实验是使用两条非金属化 LTCC 胶带实现的,层压板是在室温下将两片绿带连接起来并在它们之间形成一层薄有机流体层而制成的。• 第二次层压实验是使用金属化 LTCC 胶带通过丝网印刷技术沉积 Ag/Pd 导体金属糊剂实现的。层压板是在室温下将两片绿带连接起来并在它们之间形成一层薄有机流体层而制成的。• 第三次层压实验是使用三片绿带实现的。第一和第三条绿带未经机械加工。第二条绿带具有 L 形通道,这些胶带的连接是通过有机流体层压实现的。使用软橡胶辊施加低层压压力;通常达到 2.5 或 5 MPa 的值。
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简介 鉴于对满足射频系统要求的需求日益增加,作为关键组件的循环器已成为研究的主题。传统循环器通常基于采用带状线或微带技术设计的 Y 型结形状。带状线循环器易于集成且损耗低。这种循环器拓扑结构可以通过同轴连接器连接,采用 Drop-in 技术实现或内置于表面贴装器件 (SMD)。尽管成本较高,但同轴循环器具有比其他产品更高的 EMC 屏蔽和功率处理能力。此外,Drop-in 设备处理的功率较少,并且没有 EMC 屏蔽。最后,SMD 循环器的功率处理能力低于同轴循环器,但 EMC 屏蔽比 Drop-in 更好。面对日益增长的小型化、集成化和降低成本的需求,LTCC(低温共烧陶瓷)技术是应对这些挑战的有希望的候选技术。LTCC 技术是一种通过多层结构封装集成电路的技术。它由堆叠胶带组成,可防止结点出现气隙,并降低高功率空间应用的多重击穿风险。在过去的几年中,许多已发表的研究都集中在 LTCC 循环器的设计上 [1]-[2]。然而,它们大多数都是理论上的,只有少数专注于工业用途 [3]。因此,Exens-Solutions 与 CNES、Thales TRT 和 IMT Atlantique 合作,提出了 LTCC 技术来开发用于保护有源天线的 K 波段循环器。该循环器由 Exens-Solutions 根据与 CNES 商定的规格设计。IMT Atlantique 负责循环器的制造过程。铁氧体和电介质材料带由 Thales TRT 开发。因此,本文分为四个部分。第一部分介绍 LTCC 循环器规格并详细介绍材料特性。第二部分描述了建立设计规则的试运行。第三部分讨论了 LTCC 循环器的设计步骤和模拟。制造步骤和测量结果在最后一节中报告。LTCC 环行器规格初步提出的拓扑结构采用带状线拓扑结构来设计封装在封装中的 LTCC 环行器。这种拓扑结构的优点是可以缩小环行器体积并避免金属路径受到任何损坏。如图 1 所示,在 LTCC 结构中添加了信号和接地通孔,以确保其与 SMD 表面的互连。
在微电子领域,设备集成度更高、散热性能更好一直是个趋势。在制造基于陶瓷的微电子器件时,可以应用以下技术。厚膜混合技术使用烧结陶瓷基板(主要是 Al 2 O 3 ),用功能糊料进行丝网印刷,然后在 850°C 下烧制。氧化铝基板具有非常好的导热性(25 W/mK),但是只有两侧可以进行金属化。使用 LTCC 技术的多层系统可以实现更好的小型化。LTCC 器件通过丝网印刷、堆叠和层压陶瓷绿带,然后进行共烧来制造。LTCC 的缺点是由于其玻璃含量高而导致的低导热性(3 W/mK)。通过结合混合技术和 LTCC 技术,可以结合两种方法的优点,例如良好的导热性和高的多层集成度。由于通过热压将生带层压在烧结陶瓷基板上的故障率太高,因此冷低压层压 (CLPL) 已被用作替代层压工艺。CLPL 是一种层压方法,其中组件的连接是在室温下通过使用双面胶带施加非常低的压力 (<5 MPa) 进行的。在热处理过程中,粘合膜将胶带保持在一起,直到粘合剂完全分解;在进一步升温期间,胶带通过烧结连接在一起。本文介绍了将烧结材料与生带连接所使用的材料和加工步骤,并讨论了烧制过程中发生的影响。这些影响(如边缘卷曲和裂纹形成)主要是由于在受限烧结过程中发生的应力造成的。可以通过改变工艺参数来影响它们的控制。关键词:连接、层压、冷低压层压、LTCC、氧化铝基板
摘要:通过固态合成和烧结,基于两个铜硼酸盐和Cu 3 b 2 O 6的新陶瓷材料,并将其表征为低介电介电介电常数的有希望的候选者,用于很高的频率电路。使用加热显微镜,X射线衍射测量法,扫描电子显微镜,能量分散光谱镜检查和Terahertz时间域光谱研究了陶瓷的烧结行为,构成,显微结构和介电特性。研究表明,频率范围为0.14–0.7 THz的介电介电常数为5.1-6.7,介电损失低。由于低烧结温度为900–960℃,基于铜硼酸盐的材料适用于LTCC(低温涂层陶瓷)应用。
摘要限制了某些危险物质(ROHS)的使用限制于2006年7月1日生效。设备程序需要从其供应商那里获得材料声明或合规证书。某些豁免该法规,例如RF端口和某些医疗应用,仍然允许使用不合同材料的LTCC产品生产LTCC产品。但是,对没有镉或铅的LTCC产品的需求不断增长。自2006年底以来,杜邦(Dupont)一直为已建立产品提供无CD的AU糊状物。用于连接的内部和外部导体,AU糊5734经常使用LTCC制造商使用。替代的ROHS填充糊为CDF34型。对于销钉,选项卡和框架悬挂,AU糊剂5062D(粘附层)和5063D(屏障层)的组合是MSE的LTCC零件的首选。无CD版本是5062E型和5063E。MSE根据一个全面的测试计划验证了所有三个新糊状,该计划包括五个不同的CDF34测试布局,另外两个用于5062E和5063E。同时构建了Corre-sponds的参考部分,以具有确切的比较功能。CDF34的验证包括对键合的研究以及电阻终止,VIA和粘合键组件的可靠性。此外,测试了横向迁移(绝缘电阻)。5062E和5063E验证包括焊接组件的可靠性,焊接垫中的VIA以及框架和底板的焊接。不同的测试单元包括视觉检查,横截面,初始测量和热循环后的结果,热休克,温度和湿度暴露。
MMIC的微波包装的主要目标之一是保存所需的RF属性。在放大器MMIC的情况下,相对于包装的最关键属性是向前增益,输入匹配,反向隔离,增益平坦和稳定性。基于LTCC的方法是包装MMIC的有趣选择。陶瓷载体形成了用于电线粘合和翻转芯片的粘合基板,可用于整合高质量的被动剂。集成的阻止电容器可以降低组装成本,并以低额外的成本来实施诸如RF过滤和防止静电放电之类的其他功能[4]。对于模具附着,Flip-Chip由于flip-Chip跃迁的良好发电性和低寄生电感而引起了人们的注意。但是,在实践中可以看出,Flip-Chip还需要处理特定的寄生效应,这些寄生效应将芯片倒挂在金属表面上时,例如在大多数丝网键入方法中完成的金属表面[3] [5]。
摘要本文强调了诸如厚膜丝网印刷,墨水射流和后发射薄膜工艺等技术的可能组合,并结合激光滴定的细vias,以产生高密度的微型LTCC底物。为了获得内层的银色图案,在陶瓷绿色的床单上应用了常规的厚膜印刷和墨水喷射印刷(使用纳米银颗粒分散墨水)。墨水喷气工艺使用线/空间= 30/30 m m的细线进行金属线。对于层间连接,使用了由紫外线激光形成的直径30 m m的细vias。然后将这些床单彼此堆叠并发射以获得基础。在此基底物上,通过薄膜过程形成了用于翻转芯片的细铜图案。表面表面均由镍钝化和通过电板沉积的金层。用于进行迹线的三个图案操作和细vias的紫外线激光钻孔的组合使得实现精细的螺距LTCC,例如,用于Flip Chip设备安装。