EUV 光刻胶材料对于实现下一代光刻技术至关重要,该技术旨在实现 5 nm 以下节点的大批量制造 (HVM)。在本研究中,我们报告了 EUV 光刻胶的广泛性能表征,用于未来的高 NA EUV 光刻。我们在 Paul Scherrer 研究所和 ASML 合作的框架内,使用瑞士光源 (SLS) 的 EUV 干涉光刻工具研究了各种光刻胶的性能。本文介绍了 2022 年下半年开展的工作的主要成果。本研究考虑的重要性能特征是分辨率或半节距 (HP)、剂量与尺寸比 (DtS) 和线宽粗糙度 (LWR)。为了评估光刻胶的整体性能,我们使用了 Z 因子。我们研究了化学放大光刻胶 (CAR) 和非 CAR 材料。两家供应商的 CAR 实现了低至 11 nm 半节距的分辨率,而多触发光刻胶 (MTR) 达到了 13 nm 的分辨率。相比之下,MTR 由于其高灵敏度而表现出更好的 Z 因子值。此外,我们研究了底层对金属有机光刻胶 (MOR) 性能的影响。最后,我们讨论了近年来光刻胶性能的总体进展。我们观察到多个光刻胶平台的稳步改进,这对全球 EUV 光刻胶向高 NA EUVL 的发展是令人鼓舞的。
Abbreviation Description BOO Build-Own-Operate CfD Contract for Difference CFPP Carbon Free Power Project CFR Code of Federal Regulations COL Construction and Operation License COP Conference of Parties CSF Cost Stabilization Facility DOE Department of Energy ECA Export Credit Agency EPC Engineering, Procurement, and Construction EXIM Export-Import Bank (United States) FIRST Foundational Infrastructure for Responsible Use of Small Modular Reactor Technology FOAK First-of-a-Kind HALEU High-Assay Low Enriched Uranium HTGR High Temperature Gas Reactor HWR Heavy Water Reactor IAEA International Atomic Energy Agency IBNI International Bank for Nuclear Infrastructure IEF International Energy Forum IRA Inflation Reduction Act LACE Levelized Avoided Cost of Energy LCOE Levelized Cost of Electricity LEU Low Enriched Uranium LFSCOE Levelized Full System Cost of Electricity LILW Low and Intermediate Level Waste LLW Low-Level Waste LLC Limited Liability Company LPO Loans Program Office LWR Light Water Reactor MDB Multilateral Development Bank MOX Mixed-oxide fuel MWe Megawatt of electricity MWh Megawatt hour NOAK Nth-of-a-Kind NPP Nuclear Power Plant NPT Nuclear Non-Proliferation Treaty NRC Nuclear Regulatory Commission (United States) OCC Overnight Capital Cost O&M Operation and Maintenance PRA Probabilistic Risk评估Purex铀提取
euv抗材料在启用高量制造(HVM)的高级光刻技术方面起着至关重要的作用,该技术针对低于5 nm的节点。在这项研究中,我们报告了对未来高NA EUV光刻术的可用EUV光孔师的广泛性能表征。,我们使用Paul Scherrer Institute和ASML合作的框架内使用EUV干扰光源工具(SLS)在瑞士光源(SLS)上调查了各种抵抗的性能。本文强调了我们在2023年观察到的主要改进,并提出了最佳性能的6种不同供应商的半票(HP)14及以下。本研究中考虑的重要性能特征是分辨率或HP,剂量到大小(DTS)和线宽度粗糙度(LWR)。为了评估抵抗的整体绩效,我们使用了z因子。我们研究了化学放大的抵抗(CAR)和非车材料。来自两个供应商的汽车达到了一个低至11 nm的分辨率,而多触发器抵抗(MTR)达到了13 nm的分辨率。新的金属有机抗(MOR)的分辨率低至11 nm。MTR和一辆汽车材料达到了迄今为止最低的Z因子。此外,我们研究了卧式对MOR性能的影响,并将新MOR的性能与前身进行了比较。,我们最终讨论了近年来抵抗性能的总体进展。我们观察到了几个抗性平台的稳定改善,这对于全球EUV抗性向高NA EUVL的发展令人鼓舞。
图1:海洋雾过程 - 前流大陆或海洋吸气气溶胶作为FCN。通过蒸气的扩散沉积(插图)在FCN周围生长。Kohler(1936)认为,液滴生长需要超过由表面张力和溶质浓度的相对影响确定的临界半径(分别分别增加/降低了液滴蒸气,分别增加/降低)。最小的湍流(Kolmogorov或K)涡流在ABL中的作用,在该ABL中,FCN被嵌入其中,但尚未了解(插图)。请注意,对于空气,K量表和(Obukhov-Corrsin O-C)温度耗散量表的顺序相同,因此在k涡流或立即周围FCN的温度是同质的。产卵液滴会结合和沉降(插图)。贡献上海的过程/现象包括波浪和破裂,夜间对流,湍流和混合,潮汐和电流。相应的低大气现象包括波边界层以及剪切和对流湍流。在空气界面,湍流,质量,动量和气溶胶交换通过波浪破裂和通过[Molecular]皮肤层的恢复而发生,这会燃烧空气 - 海洋相互作用。短/长波辐射(SWR/LWR)和对流过程也影响海面温度(SST)。MABL的重要贡献来自概要和中尺度[对流]系统,包括前部,高和低点,反转,海面和雾顶的加热/冷却,DIEL循环,云,云,湍流和气溶胶。如果存在,则来自边界混合,上升流,升级的波浪破裂,海洋/海洋[差分]加热和内部边界层(IBL)的沿海贡献对雾生命周期有重大影响。
激光器现在是一项普遍的技术,具有许多熟悉的应用程序,包括沟通,材料处理,3D扫描,印刷,医疗应用等等。激光辐射的产生需要热力学平衡的不平衡,以至于只有高度不寻常的天体物理量表现象才能在自然界中产生激光[1]。所有其他激光均经过设计和使用。使用的目的是驱动军事愿望检测激光的意图。激光器的军事应用包括范围查找,目标名称,激光耀眼和导弹控制[2]。军方感兴趣的大多数激光是脉冲激光器。时间分辨率和高瞬时亮度使它们非常适合在范围检测器和目标标记等应用中在许多公里的范围内运行。已经开发出激光华纳接收器(LWRS)来检测这些激光器所带来的威胁[3] [4],并允许辐射的平台启动由感知的威胁确定的适当的对策。在过去的几年中,连续波(CW)可见的激光二极管的优势产生了更广泛的危害 - 所谓的激光指针。手持式可见激光器具有几个瓦的功率,可容纳几百美元,波长不断扩展。这些激光被证明是一种威胁,当他们接近降落时,它们朝向飞机,并有1500多个报道称,去年英国和美国令人眼花azz乱的飞行员。CW激光器是激光检测世界中的特定挑战。常规LWR在检测这些激光器方面表现不佳,因为它们依赖于使用脉冲激光器观察到的亮度的快速时间变化。Wang [5]将激光检测分为三类 - 相干识别,散射识别和频谱识别。这些是基于观察到的类别而不是区分特征。Benton [6]采用了基于歧视技术 - 成像,光谱和连贯性的分类方法。前两个类别本质上都是
本报告总结了拟议的代码开发工作,以扩展 NRC 对非轻水反应堆技术的事故进展、源项和后果分析的建模和仿真能力。本报告描述了不同类型的非轻水反应堆以及 NRC 计算机代码的建模差距,包括用于事故进展和源项分析的 MELCOR、用于后果分析的 MACCS 和用于放射性核素清单的 SCALE。严重事故进展、源项和后果分析深深植根于 NRC 的监管政策和实践中。许可流程基于纵深防御的概念,其中发电厂的设计、运行、选址和应急计划构成了独立的核安全层。这种方法鼓励核电站设计师结合多道防线,以保持辐射危害与工人、公众和环境之间的物理屏障的有效性——无论是正常运行还是事故情况。与设计基准事故一起使用的各种监管源术语,建立和确认核设施的设计基准,包括安全重要项目,确保工厂设计符合美国联邦法规 (CFR) 中规定的安全和数值放射性标准(例如,10 CFR 100.11,“禁区、低人口区和人口中心距离的确定”;10 CFR 50.67,“事故源术语”;10 CFR 50.34(a)(1)(iv);10 CFR 第 50 部分“生产和使用设施的国内许可”附录 A“核电站通用设计标准”中通用设计标准 19“控制室”)以及后续员工指导。通用设计标准 (GDC) 适用于轻水反应堆 (LWR)。非轻水反应堆将具有主要设计标准 (PDC),其可能有类似的要求。 MELCOR 是桑迪亚国家实验室为 NRC 开发的最先进的计算机代码,用于执行核反应堆严重事故进展和源项分析。MELCOR 是一种灵活的集成计算机代码,旨在描述和跟踪严重事故的演变,以及相关放射性核素在封闭空间(如安全壳或建筑物)内的传输。它是一个知识库,包含价值数亿美元的实验和模型开发,特别关注轻水反应堆现象学以及非轻水反应堆技术的扩展功能。现象识别和排序表 (PIRT) 中已经开发和记录了特定的数据和计算需求,例如与 NGNP 相关的严重事故 (SA) PIRT 以及各种钠冷快堆和熔盐反应堆 PIRT 分析 [1] [2] [3] [4] [5] [6]。相关数据需求已从这些 PIRT 中收集并整合到本报告中。本报告提供了与各种非轻水反应堆设计相关的代码功能状态的高级理解。
(i)在提交根据适用法律寻求批准的申请或指定相关国家走廊后1年的申请后,保留了一年以上的批准,以较晚者为准;或(ii)有条件的批准方式,即拟议的建筑或修改不会显着减少州际贸易中的传输拥塞,或者在经济上不可行。DOE 2002年的国家传输网格研究1记录了从1990年代开始的变速箱施工速度缓慢,并确定了现有的主要传输瓶颈。自从部门开始准备和发布拥塞研究以来已经过去了十多年。自2005年FPA第216条颁布以来,FERC发布了订单号679,2,为传输投资创造了经济激励措施,订单号890 3和1000,4
南部LNG Company,LL C.(“南部LNG”)在此提交向美国能源部,化石能源办公室提交提交的授权申请,以前是先前进口的液化天然气(LNG),其现有的LNG进口液位在乔治·乔治亚县,乔治时期的系统中,lng for a System in System for System in System for li strip in li forment in li of in li of in li of the li for lie of。 MLS”)与Elba Liquefaction项目相关的单位已在服役中或2)2021年4月L,这是其现有的毯子重新出口授权日期后的第二天,原定于1到任何国家,可以通过远洋运营商进行T lng的任何能力,并且我们不承担我们的交易。法律或政策。南部液化天然气在代表其他实体担任代理人时,请求此授权,并根据既定程序在DOE/FE中注册了每个此类实体后,都会持有液化天然气的所有权。