在这项工作中,我们提出了一种异质整合解决方案,用于将高级节点CMO与GAAS激光器和光电二极管以及光子积分电路(PIC)相结合,以在增加带宽密度和减少每个区域的功率消耗方面推动限制。通过硅VIA(TSV)进行3D集成,包括高密度,20个Ilin螺距芯片到芯片互连,以及通过3D打印形成的光学互连。已经开发了一种TSV last集成方案,以与PIC制造和开发的自定义电镀解决方案兼容,以实现无效的填充。微气象夹选项,例如SN或AU,以与多项目晶圆(MPW)运行的Die兼容,并提出了测量的电气,以将CMOS芯片与3D PIC整合在一起。关键字:光子学,TSV,异质整合。
与往常一样,我们期待与您分享我们去年取得的成果。这一次,我们怀着复杂的心情这样做。在制造设计数量逐年稳步增长之后,我们看到它十年来首次下降。我们将其归因于多种原因。首先,EUROPRACTICE 联盟在法国的合作伙伴 CMP 因行政原因不得不停止在 STMicroelectronics、ams 和 CEA-Leti 的制造活动。由于 ST 是我们投资组合中最受欢迎的欧洲代工厂,因此它对我们的业绩产生了重大影响。我们很高兴地通知您,这个问题已经得到解决,因为新的法国 MPW 服务 CIME-P 于 2022 年 10 月成立并加入了该联盟,重新开放了这些代工厂的制造服务。在导致下降的其他因素中,我们必须提到地缘政治环境,这导致我们与俄罗斯的关系结束,并大大限制了我们与中国的业务。
与往常一样,我们期待与您分享我们去年取得的成果。这一次,我们怀着复杂的心情这样做。在制造设计数量逐年稳步增长之后,我们看到它十年来首次下降。我们将其归因于多种原因。首先,EUROPRACTICE 联盟在法国的合作伙伴 CMP 因行政原因不得不停止在 STMicroelectronics、ams 和 CEA-Leti 的制造活动。由于 ST 是我们投资组合中最受欢迎的欧洲代工厂,因此它对我们的业绩产生了重大影响。我们很高兴地通知您,这个问题已经得到解决,因为新的法国 MPW 服务 CIME-P 于 2022 年 10 月成立并加入了该联盟,重新开放了这些代工厂的制造服务。在导致下降的其他因素中,我们必须提到地缘政治环境,这导致我们与俄罗斯的关系结束,并大大限制了我们与中国的业务。
2021 年,大多数会议和展览仍在线上举行。为了促进与利益相关者的互动,我们尝试了不同类型的虚拟活动,例如 ESSCIRC-ESSDERC2021 的小组讨论以及与 DSP Valley 和 Silicon Saxony 分别联合举办的两次在线行业集群活动。我们还继续进一步提高我们的数字影响力。例如,EUROPRACTICE LinkedIn 现在有超过 1900 名关注者。接下来,我们举办了另外三场非常成功的网络研讨会系列,专门讨论 MEMS 技术、柔性电子和 imec MPW 服务。我们所有网络研讨会的录音都可以在 EUROPRACTICE 的 YouTube 频道上找到。此外,我们重新设计和重组了我们的网站,使导航更加直观,整体体验更加用户友好。最后,我们的实体培训课程经过重新配置和调整,可在线呈现为现场讲师指导的培训,包括使用远程可访问的设计工具环境的动手实践课程。
执行摘要 最新技术摘要 在过去 20 年中,硅光子学已成为光子集成电路 (PIC) 的一项极具吸引力的技术,因为它直接建立在硅纳米电子领域的极度成熟基础之上。因此,它开辟了一条通往非常先进的 PIC 的道路,具有非常高的产量和低成本。更准确地说,今天,硅光子 PIC 正在 200 毫米和 300 毫米 CMOS 代工厂中以纳米级精度和可重复性进行商业化生产,这从光子学的角度来看是前所未有的。基本技术利用绝缘体上硅 (SOI) 晶圆,其中埋氧层顶部的硅层充当连接芯片上器件的波导的核心。由于硅是导光材料,氧化硅是包层,该技术可以解决波长范围约为 1 至 4 m 的应用,从而包括以 1300nm、1550nm 和 1550(+)nm(分别为 O、C 和 L 波段)为中心的非常重要的光纤光谱带。硅光子学已经成为十多家公司(其中大部分是无晶圆厂公司)用于数据中心和电信网络中高数据速率收发器产品的首选技术。总的来说,他们向市场部署了估计数百万个硅光子收发器。大约有 20 个硅光子制造平台(部分为工业平台,部分为支持原型设计和小批量制造的研究机构平台)已经建立,这些平台基于现有基础设施和源自硅电子行业的专有技术(见附录 A1)。典型平台允许集成高速调制器和高速 Ge 探测器,符号率范围为 50 至 100 Gbaud,以及用于光束组合/分裂、波长选择功能、偏振选择功能和片外耦合的高级无源功能。一些平台允许其他功能,例如与高级电子设备的集成(单片或混合)、光源的集成(异构或混合)以及面向传感的功能(例如微流体)。大多数平台的运作方式类似于代工厂:任何最终用户都可以访问它们,无论是全掩模版/全晶圆批次 (FRFL) 模式还是成本分摊多项目晶圆 (MPW) 模式,其中最终用户可以提交部分掩模版的设计,并将收到几十个处理过的芯片而不是完整的晶圆。 FRFL 模式成本高昂(数十万欧元/美元),但每芯片成本较低(每芯片约 10 欧元/美元),而 MPW 模式每设计成本更实惠(数十万欧元/美元),但每芯片成本约 1000 欧元/美元。当扩展到更高产量(例如 1000 片晶圆)时,芯片成本可降至每芯片 1 欧元/美元以下,因为固定掩模和间接成本在整个批次中摊销。当代工厂基础设施的投资已经折旧或与其他用户共享时,较低的单芯片成本也会受益。芯片代工厂向其客户提供工艺设计套件 (PDK)。这些 PDK 详细说明了给定平台的设计规则,并包含基本组件和电路库。硅光子学 PDK 的成熟度尚未达到 CMOS IC 代工厂的水平。今天,硅光子学 PDK 仅包含非常基本的构建模块库,特别是对于 MPW 操作模式。未来的硅光子学 PDK 必须包含组件和电路的紧凑模型,其参数基于经过验证的测量数据,并考虑到晶圆之间和晶圆之间的工艺变化。
ligentec为高科技行业的客户(例如量子计算,高级计算,通信,自动驾驶,空间和生物传感器)提供特定应用的光子集成电路(PIC)。ligentec的技术最初是在洛桑联邦技术学院(EPFL)开发的,已获得专利,并与CMO完全兼容。该技术允许比当今最先进的技术生产具有更好性能的图片。另外,可以集成活性组件以启用更多功能。通过将低损坏硅材料的益处与晶圆级制造和集成相结合,烯烃可以解决当今综合光子学的主要挑战,包括低损失和短生产周期。Ligentec提供了从研究和开发到数量生产的平稳过渡,并由其低入口屏障MPW服务,自定义PIC开发以及200mm,IATF 16949认证的CMOS Foundry中的高量生产。Ligentec总部位于瑞士的洛桑和法国的Corbeil-Essonnes,法国,ISO 9001:2015认证。www.ligentec.com
LIGENTEC 为量子计算、高级计算、通信、自动驾驶、太空和生物传感器等高科技行业的客户提供专用光子集成电路 (PIC)。LIGENTEC 的技术最初由洛桑联邦理工学院 (EPFL) 开发,已获得专利,与 CMOS 完全兼容。该技术可以生产出性能优于当今最先进技术的 PIC。此外,可以集成有源元件以在芯片上实现更多功能。通过将低损耗氮化硅材料的优势与晶圆级制造和集成相结合,LIGENTEC 解决了当今集成光子学的主要挑战,包括低损耗和短生产周期。LIGENTEC 提供从研发到批量生产的平稳过渡,其低门槛 MPW 服务、定制 PIC 开发和 200 毫米、IATF 16949 认证的 CMOS 代工厂的大批量生产为其提供支持。 LIGENTEC 总部位于瑞士洛桑和法国法兰西岛科尔贝埃松,并通过了 ISO 9001:2015 认证。 www.ligentec.com
ligentec为高科技行业的客户(例如量子计算,高级计算,通信,自动驾驶,空间和生物传感器)提供特定应用的光子集成电路(PIC)。ligentec的技术最初是在洛桑联邦技术学院(EPFL)开发的,已获得专利,并与CMO完全兼容。该技术允许比当今最先进的技术生产具有更好性能的图片。另外,可以集成活性组件以在片上启用更多功能。通过将低损失的罪恶材料的益处与晶圆级制造和整合相结合,ligentec解决了当今综合光子学的主要挑战,包括低损失和短生产周期。Ligentec提供了从研究和开发到数量生产的平稳过渡,并由其低入口屏障MPW服务,自定义PIC开发以及200mm,IATF 16949认证的CMOS Foundry中的高量生产。Ligentec总部位于瑞士的洛桑和法国的Corbeil-Essonnes,法国,ISO 9001:2015认证。www。ligentec.com
ADB - 亚洲开发银行 AHs - 受影响家庭 BPEO - 最佳可行环境方案 CDW - 建筑和拆除废物 dB L eq - 连续噪声当量水平,以分贝表示 DMS - 详细测量调查 EA - 执行机构 EMP - 环境管理计划 EPA - 环境保护局 EPPA - 1993 年环境保护和保存法 ES - 环境专家 GMEIWMP 大马累环境改善和废物管理项目 GOM - 马尔代夫共和国政府 GRC - 申诉补救机制 HHs - 家庭 IA - 执行机构 IEE - 初步环境检查 IMO - 独立监测组织 IRC - 部际重新安置委员会 IWMC - 岛屿废物管理中心 ME - 环境部 MF 财政部 MMS 马尔代夫气象局 MNPHI 国家计划、住房和基础设施部 NBS 国家统计局 MPW/100ml - 每 100 毫升水中最大可能细菌数 NAPA - 国家环境行动计划行动(针对气候变化) O&M - 运营和维护 PMDSC - 项目管理、设计和监理顾问 PMU - 项目管理单位 STELCO 国家电力公司 SWM 固体废物管理 RWMF - 区域废物管理设施 WAMCO - 废物管理公司