摘要 SCD 在过去几年中开发了一系列间距为 10 µm 的中波红外 (MWIR) 波段数字红外探测器,具有多种阵列格式(1920×1536、1280×1024 和 640×512),并配备两种类型的传感阵列(InSb 和 XBn-InAsSb),适用于各种电光 (EO) 系统。InSb 光电二极管阵列基于 SCD 成熟的平面植入 p-n 结技术,该技术覆盖整个 MWIR 波段,设计工作温度为 77K。获得专利的 XBn-InAsSb 屏障探测器技术覆盖了 MWIR 波段的蓝色部分,并提供与平面 InSb 相当的电光性能,但工作温度高达 150 K。两种传感阵列 InSb 和 XBn 均采用倒装芯片接合到我们的 0.18 μm CMOS 技术读出集成电路 (ROIC)。然后将 FPA 组装到定制设计的杜瓦瓶中,这种杜瓦瓶可以承受恶劣的环境条件,同时最大限度地降低探测器的热负荷。专用的近距离电子板为 ROIC 提供电源和定时,并支持通信和视频输出到系统。该系列探测器配有各种低温冷却器和高度灵活的外壳设计,可覆盖广泛的 EO 应用。尺寸较小的探测器特别适用于更紧凑、成本更低的应用,例如微型有效载荷、武器瞄准器、手持式相机和遥控武器站。使用 XBn- InAsSb 传感材料,可提高 F
能够同时在两个波段成像的双波段红外 (IR) 焦平面阵列 (FPA) 探测器在过去十年中已经发展成熟 [1]–[5]。由于物体和背景的热特征与波长有关,因此理论上该技术可用于提高各种重要应用中的目标检测、跟踪和杂波抑制性能 [6]–[8]。例如,在短波红外 (SWIR) 和中波红外 (MWIR) 波段以及 MWIR 和长波红外 (LWIR) 波段工作的双波段传感器已用于地对空导弹导引头以抵抗干扰弹等干扰 [9], [10]。MWIR/LWIR 传感器目前用于舰载红外搜索和跟踪 (IRST) [11], [12],MWIR/MWIR 传感器已用于防止飞机导弹预警接收器的误报 [13]–[15]。在一些国家,陆军、海军和空军在 8-12 µm LWIR 波段和 3-5 µm MWIR 波段的双波段传感器的开发方面投入了大量资金。这些波段具有几个重要差异。排气口和发动机羽流等热物体在 MWIR 中更为明显 [7]、[10]、[16],而机身、机身和导弹硬体在 LWIR 中更为明显 [7]、[10]。水蒸气吸收在 LWIR 中占主导地位,而二氧化碳吸收在