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用于微电子缺陷定位的无损叠层衍射成像
使用叠层扫描技术，样品被聚焦在微芯片上小点上的相干同步加速器 X 射线束照射，衍射光束由像素检测器在远场检测。样品逐步穿过光束，直到扫描到整个感兴趣的区域。扫描期间照亮的区域需要重叠，导致步长小于光束直径。叠层扫描技术需要过采样，因为检测器只测量强度。使用迭代算法，仍然可以检索衍射同步辐射的相位信息。根据衍射图案、光束形状以及样品与检测器之间的距离，该算法可以将收集的数据重建为高分辨率图像，无论是 2D 还是 3D。简而言之，该算法计算样品后面的波场到达探测器的路径，其中波场的振幅被像素探测器记录的强度数据替换。之后，更新波场并进行另一次迭代。当感兴趣的区域深埋在结构内部时，可能需要事先准备样品。因此，在某些情况下，必须通过聚焦离子束铣削使感兴趣的区域可用于叠层成像。
海上交通安全系统研究...
第 3 章。第 3 章。第 3 章。第 3 章。与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 3.1.一般规定 …………………………………………………………… 3-1 3.2.JICA 1982年3月发行《海上通信系统长期发展计划调查报告》…………… 3-2 3.3.JICA 1985年10月发行《印度尼西亚共和国航标系统发展总体计划》…………………………………………………………… 3-4 3.4.JICA 1989年2月发行《有关搜索和救援的海上安全计划研究》………………………………… 3-7 3.5.法国 1998年6月发行《船舶交通管理服务可行性研究》……………………………………… 3-11 3.6.2000年3月，日本国际协力银行“海上搜救电信系统项目可持续性特别援助”……………………………………………………………………… 3-15 3.7.“印度尼西亚共和国中波无线电信标站修复项目基本设计研究报告”（2000年11月）………………………………………………………3-16 3.8.2001年6月，德国银行“印度尼西亚航行安全项目”………………………………………………………………… 3-21 3.9.2001年11月，日本国际协力银行在海上安全运营和信息技术领域进行技术合作………………………………………………………………… 3-23
海上交通安全体系研究...
第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 3.1. 一般规定 ………………………………………………………………… 3-1 3.2. JICA 于 1982 年 3 月发行的“海上通信系统长期发展计划调查报告” …………… 3-2 3.3. 3.4. JICA 1985 年 10 月发布“印度尼西亚共和国航标系统发展总体计划”……………………………………………………………………… 3-4 3.4. JICA 1989 年 2 月发布“有关搜索和救援的海上安全计划研究”………………………………………………… 3-7 3.5. 法国 1998 年 6 月发布“船舶交通管理服务可行性研究”………………………………………………… 3-11 3.6. JBIC 2000 年 3 月“海上 SAR 电信系统项目的项目可持续性特别援助”…………………………………………………………… 3-15 3.7. “印度尼西亚共和国中波无线电信标站修复项目基本设计研究报告”(2000 年 11 月)……………………………………………………… 3-16 3.8. 2001年6月德国银行“印度尼西亚航行安全项目”………………………………………………………………… 3-21 3.9. 2001年11月JICA在海上安全运营和信息技术领域的技术合作…………………………………………………………… 3-23
强大的双波段 MWIR/LWIR 红外目标跟踪
能够同时在两个波段成像的双波段红外 (IR) 焦平面阵列 (FPA) 探测器在过去十年中已经发展成熟 [1]–[5]。由于物体和背景的热特征与波长有关，因此理论上该技术可用于提高各种重要应用中的目标检测、跟踪和杂波抑制性能 [6]–[8]。例如，在短波红外 (SWIR) 和中波红外 (MWIR) 波段以及 MWIR 和长波红外 (LWIR) 波段工作的双波段传感器已用于地对空导弹导引头以抵抗干扰弹等干扰 [9], [10]。MWIR/LWIR 传感器目前用于舰载红外搜索和跟踪 (IRST) [11], [12]，MWIR/MWIR 传感器已用于防止飞机导弹预警接收器的误报 [13]–[15]。在一些国家，陆军、海军和空军在 8-12 µm LWIR 波段和 3-5 µm MWIR 波段的双波段传感器的开发方面投入了大量资金。这些波段具有几个重要差异。排气口和发动机羽流等热物体在 MWIR 中更为明显 [7]、[10]、[16]，而机身、机身和导弹硬体在 LWIR 中更为明显 [7]、[10]。水蒸气吸收在 LWIR 中占主导地位，而二氧化碳吸收在
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第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 3.1. 一般规定 ………………………………………………………………… 3-1 3.2. JICA 于 1982 年 3 月发行的“海上通信系统长期发展计划调查报告” …………… 3-2 3.3. 3.4. JICA 1985 年 10 月发布“印度尼西亚共和国航标系统发展总体计划”……………………………………………………………………… 3-4 3.4. JICA 1989 年 2 月发布“有关搜索和救援的海上安全计划研究”………………………………………………… 3-7 3.5. 法国 1998 年 6 月发布“船舶交通管理服务可行性研究”………………………………………………… 3-11 3.6. JBIC 2000 年 3 月“海上 SAR 电信系统项目的项目可持续性特别援助”…………………………………………………………… 3-15 3.7. “印度尼西亚共和国中波无线电信标站修复项目基本设计研究报告”(2000 年 11 月)……………………………………………………… 3-16 3.8. 2001年6月德国银行“印度尼西亚航行安全项目”………………………………………………………………… 3-21 3.9. 2001年11月JICA在海上安全运营和信息技术领域的技术合作…………………………………………………………… 3-23
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第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 3.1. 一般规定 ………………………………………………………………… 3-1 3.2. JICA 于 1982 年 3 月发行的“海上通信系统长期发展计划调查报告” …………… 3-2 3.3. 3.4. JICA 1985 年 10 月发布“印度尼西亚共和国航标系统发展总体计划”……………………………………………………………………… 3-4 3.4. JICA 1989 年 2 月发布“有关搜索和救援的海上安全计划研究”………………………………………………… 3-7 3.5. 法国 1998 年 6 月发布“船舶交通管理服务可行性研究”………………………………………………… 3-11 3.6. JBIC 2000 年 3 月“海上 SAR 电信系统项目的项目可持续性特别援助”…………………………………………………………… 3-15 3.7. “印度尼西亚共和国中波无线电信标站修复项目基本设计研究报告”(2000 年 11 月)……………………………………………………… 3-16 3.8. 2001年6月德国银行“印度尼西亚航行安全项目”………………………………………………………………… 3-21 3.9. 2001年11月JICA在海上安全运营和信息技术领域的技术合作…………………………………………………………… 3-23
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第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 第 3 章 与海上交通安全系统相关的现有计划和战略 3.1. 一般规定 ………………………………………………………………… 3-1 3.2. JICA 于 1982 年 3 月发行的“海上通信系统长期发展计划调查报告” …………… 3-2 3.3. 3.4. JICA 1985 年 10 月发布“印度尼西亚共和国航标系统发展总体计划”……………………………………………………………………… 3-4 3.4. JICA 1989 年 2 月发布“有关搜索和救援的海上安全计划研究”………………………………………………… 3-7 3.5. 法国 1998 年 6 月发布“船舶交通管理服务可行性研究”………………………………………………… 3-11 3.6. JBIC 2000 年 3 月“海上 SAR 电信系统项目的项目可持续性特别援助”…………………………………………………………… 3-15 3.7. “印度尼西亚共和国中波无线电信标站修复项目基本设计研究报告”(2000 年 11 月)……………………………………………………… 3-16 3.8. 2001年6月德国银行“印度尼西亚航行安全项目”………………………………………………………………… 3-21 3.9. 2001年11月JICA在海上安全运营和信息技术领域的技术合作…………………………………………………………… 3-23
摘要介绍热成像市场...
标题：迈向多光谱红外成像 演讲者姓名：Elahe Zakizade 博士 公司名称/研究所：弗劳恩霍夫微电子电路与系统研究所 项目名称：Eurostars SPEKTIR 资助小组：Eurostars 摘要是否可以在网站上发表： ☒ 是 ☐ 否 提供最多 500 字的摘要。使用 ARIAL 字体，11 号。如果使用图表，文本和图表必须保持在这一页内。 近年来，热成像相机市场不断增长。主要驱动因素是基于微测辐射热计技术的非制冷红外焦平面阵列 (IRFPA)，因为它们是低成本成像仪，不需要额外的复杂和昂贵的冷却系统。大多数当前的热成像应用都基于长波红外 (LWIR) 辐射的检测，波长覆盖从 8 μm 到 14 μm，对人体温度敏感，不仅可用于军事应用，而且在智能手机、监控摄像头或自动驾驶汽车等大众市场应用中也越来越受欢迎。此外，非制冷热像仪在波长范围为 3 μm 至 5 μm 的中波红外 (MWIR) 中也能敏感。MWIR 传感器可用于监测温度高达几百摄氏度的“热源”、检测危险或易燃气体或环境监测等应用。红外区域多光谱成像的实现引起了广泛关注，因为它能够可视化和组合来自 MWIR 和 LWIR 区域的信息。微测辐射热计作为非制冷 IRFPA 的传感元件，采用热原理运行。它们是独立的隔热传感器膜。它们吸收红外辐射并将其转化为温度上升。微测辐射热计膜的温度变化会导致电阻随入射功率的变化而变化。CMOS 读出电路将微测辐射热计随温度变化的电阻变化转换为数字值并生成图像。实现多光谱吸收的一种有前途的方法是使用等离子体超材料吸收器 (PMA)。在过去的几十年中，等离子体领域因其各种潜在应用而备受关注，尤其是在可见光谱范围内。等离子体结构的研究也已扩展到红外区域，以实现高吸收率并调整中波红外和长波红外光谱区域的吸收波长。实现适用于弗劳恩霍夫 IMS 微测辐射热计技术的合适吸收器的有希望的候选材料是金属-绝缘体-金属 (MIM) 结构，该结构由上部周期性金属结构、中间介电层和下部金属反射层组成，以在所需的吸收波长下产生强局部表面等离子体共振。材料选择，弗劳恩霍夫 IMS 研究了沉积技术和图案化工艺，以实现高灵敏度的多光谱热成像。弗劳恩霍夫 IMS 将报告其在实现多光谱红外成像方面取得的进展。它将展示用于多光谱红外成像的带有等离子体超材料吸收器的微测辐射热计的最新模拟结果和实验表征。
适用于 MWIR 应用的 10µm 间距探测器
摘要 SCD 在过去几年中开发了一系列间距为 10 µm 的中波红外 (MWIR) 波段数字红外探测器，具有多种阵列格式（1920×1536、1280×1024 和 640×512），并配备两种类型的传感阵列（InSb 和 XBn-InAsSb），适用于各种电光 (EO) 系统。InSb 光电二极管阵列基于 SCD 成熟的平面植入 p-n 结技术，该技术覆盖整个 MWIR 波段，设计工作温度为 77K。获得专利的 XBn-InAsSb 屏障探测器技术覆盖了 MWIR 波段的蓝色部分，并提供与平面 InSb 相当的电光性能，但工作温度高达 150 K。两种传感阵列 InSb 和 XBn 均采用倒装芯片接合到我们的 0.18 μm CMOS 技术读出集成电路 (ROIC)。然后将 FPA 组装到定制设计的杜瓦瓶中，这种杜瓦瓶可以承受恶劣的环境条件，同时最大限度地降低探测器的热负荷。专用的近距离电子板为 ROIC 提供电源和定时，并支持通信和视频输出到系统。该系列探测器配有各种低温冷却器和高度灵活的外壳设计，可覆盖广泛的 EO 应用。尺寸较小的探测器特别适用于更紧凑、成本更低的应用，例如微型有效载荷、武器瞄准器、手持式相机和遥控武器站。使用 XBn- InAsSb 传感材料，可提高 F
高分辨率凝视阵列响应紧凑型 MW 和 LW 应用
作为微电子领域的一个总体趋势，产品小型化越来越重要，并能带来成本和系统优势。顺应这一总体趋势，新型红外凝视阵列越来越紧凑，并能为不同的红外波段提供系统解决方案。在法国，HgCdTe（碲化汞镉/MCT）材料和工艺以及混合技术已达到更先进的水平，以提供这些新型凝视阵列。因此，对于中波（MW）应用，15µm 间距电视格式（640×512）HgCdTe 探测器（称为 Scorpio）配有 1/4-W 微型冷却器和小型化低温技术。这种优化的杜瓦瓶已扩展到 TV/4 格式，使用自 2000 年以来已大规模生产的成功的焦平面阵列。关于长波阵列，Sofradir 多年来一直提供 320×256 LW 探测器，其截止波长在 9 到 12 µm 之间调整，具体取决于所需的应用。基于这一经验，2004 年开发了两种新的 LW HgCdTe 产品，并从 2005 年初开始提供。依靠具有最新改进的标准 HgCdTe 生产工艺和优化的杜瓦瓶系列，现在推出了 Venus LW 探测器。这是一款分辨率更高的 25 µm 间距 384×288 LW IDDCA，配备 0.5 W 微型冷却器，截止波长在 9 到 10 µm 之间，工作温度在 77 K 到 85 K 之间，规格