XiaoMi-AI文件搜索系统
World File Search System图案化
通过偶氮苯聚合物的光流化进行光图案化
在当前基于光的图案化技术中，图像被投射到感光材料上以在光聚焦的区域中生成图案。因此，图案的大小、形状和周期性由光掩模或投影图像上的特征决定，材料本身通常不会在改变特征方面发挥积极作用。相比之下，偶氮苯聚合物提供了一种独特的光图案化平台，其中偶氮苯基团的光异构化可以在分子、微观和宏观尺度上引起大量的材料运动。通过暴露于干涉光束可以产生稳定的表面浮雕图案。因此，可以以非常简单的方式在大面积上制造具有二维和三维空间控制的周期性纳米和微观结构。偏振光可用于通过不寻常的固体到液体的转变引导固体偶氮苯聚合物沿光偏振方向流动，从而允许使用光制造复杂结构。本综述总结了使用偶氮苯聚合物进行先进制造的最新进展。包括简要介绍偶氮苯聚合物的有趣的光学行为，然后讨论偶氮苯聚合物的最新发展和成功应用，特别是在微纳米制造领域。
通过直接激光干涉图案化对钠钙玻璃进行微加工和表面功能化
摘要：多功能玻璃因其出色的机械、光学、热学和化学性能组合而在许多成熟和新兴行业中很常见，例如微电子、光伏、光学元件和生物医学设备。通过纳米/微图案化进行表面功能化可以进一步增强玻璃的表面特性，将其适用性扩展到新的领域。尽管激光结构化方法已成功应用于许多吸收材料，但透明材料在可见激光辐射下的可加工性尚未得到深入研究，尤其是对于生产小于 10 µ m 的结构。在这里，基于干涉的光学装置用于通过可见光谱中 ps 脉冲激光辐射的非线性吸收直接对钠石灰基板进行图案化。制作的线状和点状图案具有 2.3 至 9.0 µ m 之间的空间周期和高达 0.29 的纵横比。此外，在这些微结构中可以看到特征尺寸约为 300 nm 的激光诱导周期性表面结构 (LIPSS)。纹理化表面显示出显著改变的特性。也就是说，经过处理的表面具有增强的亲水行为，在某些情况下甚至达到超亲水状态。此外，微图案充当浮雕衍射光栅，将入射光分成衍射模式。优化了工艺参数，以产生具有超亲水特性和衍射效率超过 30% 的高质量纹理。
应力膜直接图案化对马鞍形翘曲的应力分析与优化
摘要 随着三维集成电路（3D-IC）堆叠的增加，由于不对称马鞍形翘曲的增加，机械应力问题具有挑战性。通过在晶圆背面形成数十微米的沟槽或进行激光退火处理来减少不对称翘曲的各种方法已被提出，但它们的产量低或缺乏改进价值。在本文中，我们提出了一种通过在晶圆背面直接涂覆来降低取决于翘曲形状的机械应力的新方法。所提出的方法是通过使用喷墨打印对感光聚酰亚胺（PSPI）进行图案化以调整表面特性和台阶，然后沉积具有高压应力的四乙基硅酸酯（TEOS）薄膜来释放翘曲。利用ABAQUS有限元分析软件，测量了裸晶圆在工艺前后沿x轴和y轴方向的不对称弯曲变化。通过实验和仿真，在300mm晶圆上部分沉积10µm厚的TEOS膜时，x-y方向的倾斜度约为230µm。此外，利用该工艺，可以根据TEOS膜厚度和面积的变化来释放局部弯曲（翘曲）。这些结果为解决堆叠工艺引起的异常翘曲提供了有效的指导，可应用于先进封装中的3D集成。关键词 翘曲、马鞍形翘曲、NAND、3D NAND、背面图案化
化学图案化表面上的自定位液晶微液滴阵列
摘要：液晶 (LC) 微液滴阵列是一种精巧的系统，由于其对表面性质变化的敏感性和强光学活性，具有广泛的应用，例如化学和生物传感。在这项工作中，我们利用自组装单层 (SAM) 对表面进行化学微图案化，并优先选择液晶占据的区域。利用不连续脱湿，将一滴液体拖到图案化表面上，展示了一种新颖、高产的方法，可将液晶限制在化学定义的区域中。通过改变液滴的大小和液晶相，证明了该方法的广泛适用性。虽然液滴的光学纹理由拓扑约束决定，但额外的 SAM 界面显示出锁定非均匀排列。表面效应高度依赖于尺寸，其中较大的液滴在向列相液滴中表现出不对称的指向矢结构，而在胆甾相液滴中表现出高度打结的结构。
PVDF基复合薄膜的旋涂及微图案化优化
1 过程与材料科学实验室（LSPM-CNRS UPR-3407），巴黎北索邦大学（USPN），93430 Villetaneuse，法国； anhnn@hus.edu.vn （信息来源）； thanhhuyen.vltn@gmail.com（HTTN）； valerie.bockelee@lspm.cnrs.fr （VB）; frederic.schoenstein@univ-paris13.fr (FS) 2 越南科学技术院材料科学研究所，越南河内 Cau Giay 区 3 激光物理实验室（LPL-CNRS UMR-7538），巴黎北索邦大学（USPN），93430 Villetaneuse，法国； jeanne.solar d@univ-paris13.fr 4 Jean Lamour 研究所，UMR 7198 CNRS - 洛林大学 Artem 校区，54000 Nancy，法国 5 R&I 二氧化硅合成工程师，SOLVAY，92400 Courbevoie，法国； ch.benosman@gmail.com 6 巴塞罗那材料科学研究所（ICMAB-CSIC），UAB校区，08193 Bellaterra，西班牙； agomez@icmab.es（AG）; msimon@icmab.es (MS-S.)； anaesther@icmab.es (AEC) 7 PIMM、法国工艺学院、CNRS、Cnam、HESAM 大学，151 Boulevard de l'Hopital，75013 巴黎，法国； Sylvie.GIRAUL T@ensam.eu * 通信地址：silvana.mer cone@univ-paris13.fr
PVDF基复合薄膜旋涂及微图案化优化
1 巴黎北索邦大学 (USPN) 材料科学实验室 (LSPM-CNRS UPR-3407), 93430 Villetaneuse, France; anhnn@hus.edu.vn (ANN)； thanhhuyen.vltn@gmail.com (HTTN)； valerie.bockelee@lspm.cnrs.fr (VB); frederic.schoenstein@univ-paris13.fr (FS) 2 越南科学技术研究院材料科学研究所，Cau Giay Distr.，河内，越南 3 激光物理实验室 (LPL-CNRS UMR-7538)，巴黎北索邦大学 (USPN)，93430 Villetaneuse，法国； jeanne.solard@univ-paris13.fr 4 Jean Lamour 研究所，UMR 7198 CNRS - 洛林大学 Artem 校区，54000 Nancy，法国 5 R&I 二氧化硅合成工程师，SOLVAY，92400 Courbevoie，法国； ch.benosman@gmail.com 6 巴塞罗那材料科学研究所 (ICMAB-CSIC)，UAB 校区，08193 Bellaterra，西班牙； agomez@icmab.es (AG)； msimon@icmab.es (MS-S.)； anaesther@icmab.es (AEC) 7 PIMM，艺术与工艺学院，CNRS，Cnam，HESAM 大学，151 Boulevard de l'Hopital，75013 巴黎，法国； Sylvie.GIRAULT@ensam.eu * 通讯地址：silvana.mercone@univ-paris13.fr
