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协同效应提高 CMP 产量 - 生命科学
特征尺寸的缩小、互连金属的进步以及对缺陷控制的日益严格的需求都表明，化学机械平面化 (CMP) 对于优化晶圆厂产量的重要性日益增加。每个芯片的更多层需要 CMP 才能达到平面度规格，并且必须将污染保持在最低限度。平面度和纯度是每层能否按预期执行的关键指标。表面异常和残留物可能会影响晶圆产量、设备性能和电子系统的长期可靠性。
基于差分平面度的一类 3D 空中机械手的 6D 位姿任务轨迹跟踪
I. 引言 A. 背景与动机 近年来，空中操控引起了机器人研究界的极大兴趣 [1]。多个研究小组展示了使用安装在空中机械手上的夹持器进行空中抓取 [2]–[4]。Lee 和 Kim、Kim 等人展示了协作式空中机械手在有障碍物的环境中抓取未知有效载荷 [5]，[6]。Orsag 等人演示了使用四旋翼平台和安装在平台上的双臂执行拾取和钉孔任务 [7]。欧盟第七框架计划资助了几个空中机械手项目，研究空中机械手与环境交互时的运动规划和阻抗控制 [8]–[10]。德国航空航天中心的一个研究小组介绍了安装在直升机上的 7 自由度人形手臂的潜在应用 [11]。类似 Delta 的机构 [12] 和并联机械手 [13] 也被考虑用于空中机械手。这些现有的研究为空中操纵的研究提供了广阔的未来。然而，与地面操纵器相比，空中操纵器能够完成的任务仍处于非常初级的阶段。这是由于许多因素造成的，例如
三平面测试，包括安装引起的变形
摘要。我们研究了基于旋转对称和镜像对称的三平面校准方法，用于在平面支撑机制引起变形的情况下对圆形平面进行绝对干涉平面度测量，这对于大型重型平面来说是一个重大问题。我们表明，当平面具有相同的变形时，可以通过比较基于镜像对称和旋转对称的平面测试解决方案来确定安装引起的变形的镜像对称分量。我们还描述了针对具有相同安装引起的变形的三个平面的三平面问题的新解决方案。在新的三平面解决方案中，平面变形与三个平面的波前平面度误差一起计算。推导出三平面测试解决方案的不确定度公式。© 2007 光学仪器工程师协会。 � DOI：10.1117/1.2784531 �
实施再工程技术以...
本研究的主题是飞机物体部件（AO）及其制造技术设备的再工程设计和控制技术。通过使用再工程技术和 CAD 系统，确保了轻型飞机龙骨及其制造技术设备成型表面的预定义精度。使用软件 Artec Studio（美国）以 *.stl 文件格式构建了轻型飞机实际存在的龙骨肖像。基于其肖像，对分析标准形状的几何形状与轻型飞机实际存在的龙骨进行了控制和比较。所用方法是形状实验几何形状的分析和综合、专家评估方法。获得以下结果：基于分析和综合，检测到轻型飞机龙骨制造精度存在显著误差，范围从 - 5.26 毫米到 +5.39 毫米。结果表明，关键因素是龙骨的相对平面度指标，该指标超出公差范围，为 85%。决定用另一种材料——有机塑料制造新的工艺设备。对轻型飞机龙骨用有机塑料制造的工艺设备进行控制，结果表明，该设备的成型表面具有与现有龙骨形状和尺寸相符的适当形状和尺寸。
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arXiv:1908.06673v1 [cs.CV] 2019 年 8 月 19 日
点云分类在各种机载光检测和测距 (LiDAR) 应用中发挥着重要作用，例如地形测绘、森林监测、电力线检测和道路检测。然而，由于机载 LiDAR 系统的传感器噪声、高冗余、不完整性和复杂性，点云分类具有挑战性。传统点云分类方法大多侧重于开发手工制作的点几何特征，并采用基于机器学习的分类模型进行点分类。近年来，深度学习模型的进步使得研究人员将重点转向基于机器学习的模型，特别是深度神经网络，来对机载 LiDAR 点云进行分类。这些基于学习的方法首先将非结构化的 3D 点集转换为常规的 2D 表示，例如特征图像集合，然后采用 2D CNN 进行点分类。此外，这些方法通常需要计算额外的局部几何特征，如平面度、球度和粗糙度，以利用原始三维空间中的局部结构信息。然而，3D到2D的转换会导致信息丢失。在本文中，我们提出了一种方向约束的全卷积神经网络（D-FCN），它可以将原始三维坐标和激光雷达强度作为输入；因此，它可以直接应用于非结构化三维点云进行sem