安全 防护等级 III 超低压 UL 2 级电源 防护等级 IP54 NEMA2,UL 外壳类型 2 EMC 低压指令 CE 符合 2004/108/EC CE 符合 2006/95/EC 认证 符合 IEC/EN 60730-1 和 IEC/EN 60730-2-14 cULus 符合 UL 60730-1A 和 UL 60730-2-14 以及 CAN/CSA E60730-1:02 操作模式 类型 1.AA.B 额定脉冲电压 执行器 辅助开关 0.8 kV 2.5 kV 控制污染等级 3 环境温度 –30 ... +50°C 非工作温度 –40 ... +80°C 环境湿度 95% 相对湿度,无凝结 维护 免维护
I. 介绍 Zr/O/W(100) 肖特基电子发射体以其高亮度和良好的发射稳定性而闻名 [1],广泛应用于电子显微镜和电子束光刻系统。肖特基发射体由单晶钨 (100) 尖端组成,该尖端点焊在钨加热丝上,可加热至 1800 K。我们正在为并行电子光刻系统开发直径为 1 毫米的肖特基发射体的微型版本。发射体尖端相对于电子柱中各个电极的对准非常关键。由于热机械原因,尖端在 x − y − z 方向上的位置会随时间而变化,这也会改变电子发射和电子光学。对于数百个发射器的阵列,必须将阵列中各个发射器之间的电子光学特性差异降至最低。在标准肖特基发射器中,尖端在其使用寿命期间在 z 方向上位移 50 µ m。为了补偿这种位移,我们建议使用硅橡胶室温硫化 (RTV) 566 对尖端进行原位位置对准。RTV 566 在 − 115 ◦ C–260 ◦ C 范围内具有良好的热稳定性、低排气性以及与不同材料组良好的粘合性 [2]。RTV 566 广泛应用于各种机械和电子工程应用,如汽车加热软管、芯片键合、太阳能电池、空间应用和火花塞帽。控制 z 轴运动的拟议设计示意图如图所示。1.在
1/2” 导管连接器 过载保护 全程电子保护 0 至 95° 旋转 电气保护 辅助开关双重绝缘 旋转角度 95°, 可使用附件调节 30 至 95° 扭矩 60 英寸磅 [7 牛米] 恒定扭矩 旋转方向可逆,采用 CW/CCW 安装。位置指示视觉指示器,0° 至 95°(0° 为弹簧返回位置)辅助开关 1 x SPDT 7A (2.5A) @ 250 VAC,UL 认证可调节 5° 至 85° 运行时间电机:< 75 秒弹簧:< 60 秒湿度 5 至 95% RH 无凝结环境温度 -22°F 至 +122°F [-30°C 至 +50°C] 存储温度 -40°F 至 +176°F [-40°C 至 +80°C] 外壳 NEMA 2 型/IP54 外壳材料镀锌钢机构列表 UL 873 认证,CSA C22.2 No.24 认证噪音水平最大。45 dB (A) 免维护 质量标准 ISO 9001 重量 6.6 磅 (3.0 千克)技术数据 NF24 -S2 US 辅助开关 2 x SPDT 7A (2.5A) @ 250 VAC,UL 认证一组为 +5°,一组可调 25° 至 85°
NF24 美国典型规格 开关弹簧回位阻尼器执行器应为直接耦合类型,无需曲柄和连杆,并且能够直接安装到直径最大为 1.05 英寸的中间轴上。执行器必须设计为可用于顺时针或逆时针故障安全操作。执行器应在所有旋转角度下受到过载保护。如果需要,应提供 1 或 2 个 SPDT 辅助开关,并具有可调能力。带有辅助开关的执行器必须按照双重绝缘的要求制造,因此不需要电气接地即可满足机构列表。执行器应通过 UL 认证和 CSA 认证,享有 5 年保修,并根据 ISO 9001 国际质量控制标准制造。执行器应由 Belimo 制造。
下一代直线对撞机应具有极小的发射度,以实现足够高的亮度。由于相互作用点处的光束尺寸非常小,高度约为十纳米,这些机器对地面运动非常敏感,从而导致不相关的机器组件紊乱。精确对准机器组件对于防止发射度稀释至关重要。1996 年,KEK 开始对电子/正电子直线对撞机的 C 波段(5712 MHz)射频系统的硬件研发。相关进展已在国际会议上报告 [1]。在本文中,我们将报告加速结构的大梁和支撑大梁的主动动子的设计。扩散性地面运动会破坏加速器元件的对准。为了补偿缓慢的地面运动,采用新理念开发了一种主动支撑动子。我们正在对动子进行长期使用质量测试。我们的新型移动器由空气弹簧和多层橡胶轴承 (MLRB) 组成,如图 2 所示。与机械千斤顶相比,空气弹簧的控制更平稳、更精细。我们使用 MLRB 来防止地震引起的支撑台快速弹出运动。移动器的详细设计和特性通过 LON 控制系统展示 [2, 3]。
