本文提出了两种沉积方法,用于生成具有PECVD反应器中“零”残留应力的SIN X层:高频模式下的混合频率和高功率(13.56 MHz)。传统上,混合频率模式通常用于产生低应力SIN X层,替代使用HF和LF模式。但是,由于LF模式的沉积速率较低,因此混合频率的组合沉积速率非常小,以产生同质的SIN X层。在第二种方法中,使用了高达600 W的高功率,也可能产生较低的残余应力(0-20 MPa),其沉积速率较高(250至350 nm/min)。较高的功率不仅会导致更高的气体解离速率,从而导致较高的沉积速率,而且在SIN X膜中带来了较高的n键,以及来自SIN X膜的较高体积膨胀的较高压缩应力,从而补偿了拉伸应力并产生低残余应力。此外,本文还研究了其他重要参数的影响,这些参数对残余应力和沉积速率有很大影响,例如反应剂气体流速和压力。通过使用最终优化的配方,基于低应激SIN X层成功制造了KOH和氮化硅悬臂的各向异性湿蚀刻层的掩蔽层。此外,还制造并测试了具有400nm孔的纳米孔膜。通过在纳米多孔膜顶部培养小鼠D1间充质干细胞,结果表明小鼠D1间充质干细胞能够生长良好。这表明纳米方膜可用作与活细胞接口的平台,成为生物分子分离的生物胶囊
Although the application of fiber-reinforced concrete (FRC) beams turns back to a few decades ago (Adhikary & Mutsuyoshi, 2006 ; Masuelli, 2013 ; Soltanzadeh et al., 2015 ), significant efforts also have been made to increase the strength and ductility of concrete in construction and building structures since sustainable infrastructure is cru- cial for economic development (Aldwaik &阿德利,2016年)。与其他纤维增强的复合结构(çelik&König,2022; Rafiei&Adeli,2017b; Shafighfard等,2021)一样,最近已证明FRC结构是拥有比正常混凝土更具特殊耐药性和强度的能力。能够预测钢纤维 - 增强混凝土(SFRC)束的结构行为是研究人员在攻击其性能时面临的众多挑战之一(Rafiei等,2017; Singh,2016; Venkateshwaran&Tan,2018)。在众多的弯曲参数中(Gribniak等,2012; Gribniak&Sokolov,2023),延展性比引起了研究人员的注意,因为它的能力反映了结构元素对弯曲载荷的反应。另一个重要的弯曲度量是弯曲载荷能力(峰值负载),该指标已通过数值模拟,实验研究和机器学习(ML)基于基于的预测技术进行了研究。一些研究人员已经对SFRC梁进行了数值和/或分析研究,以降低与实验研究相关的劳动和/或材料成本(Jeong&Jo,2021;Júnior&Parvin,2022)。tan等。Yang等。 (2020)Yang等。(2020)纵向钢筋比率和残留拉伸强度是SFRC梁柔性性能的参数研究中考虑的典型变量。使用纤维来增强拉伸强度并不比连续加固在改善混凝土束的力矩容量方面更有效,但是与普通的RC梁相比,纤维增强型会增加僵硬和强度(Mobasher等人,2015年)。(2022)进行了SFRC材料特性对弯曲性能的影响的参数分析,发现弯曲延展性受到RC梁中高体积分数的影响。对具有不同纤维纵横比,方向和梁尺寸的SFRC梁的三维(3D)模型表明,由于弯曲增强的峰值载荷增加了较高的分布纤维,因此在拉伸应力方向上定向纤维。此外,具有较低纤维增强比的较小梁显示出较高的峰值载荷(Al-Ahmed等,2022)。实验研究通常被认为是数值工作(Pereira等,2020)的组成部分,以验证它们提供的结果。
hibit降低了渗透性,因此需要建立有效的地热系统(EGS)以利用深度地热能。在EGS中,用于液压压裂用于储层刺激,以人为增强的地热储层具有较高的渗透性。当前的深地热储量刺激技术主要是从石油和天然气部门采用的液压压裂过程中借来的,对刺激性能,地震风险控制和有效的地热储层的热萃取产生了限制。这项研究总结了深度地热能的液压压裂的特征:(1)剪切机理主导着断裂诱导的损伤。(2)冷水注入诱导的差分温度所产生的拉伸应力鼓励裂缝进一步传播。(3)连续的水注入使孔压力保持高于地层压力,从而为裂缝保持良好的条件保持开放。因此,EGS中的液压压裂不需要支撑剂。这与石油和天然气井的液压破裂完全不同,这在很大程度上依赖于支撑剂。此外,这项研究系统地分析了EGS的四个主要挑战:低发电能力,注入和生产井之间的连通性差,诱发破坏性地震的风险以及在没有补贴的情况下获得利润的困难。这项研究通过数值模拟研究了Regs的优势。根据创新的破裂和能量回收的各个方面,本研究提出了一种与能源存储相结合的创新增强的开发模式,称为再生工程的地热系统(REGS)。结果表明,与水平井以及不等的间距,区域和注射水的体积的多阶段分裂可以增强注入和生产井之间的连通性。破裂过程在Regs中进行了优化。具体来说,采用了多阶段裂纹。在每个阶段,早期的水注射率迅速增加,并在晚期逐渐下降。这可以防止在井眼压力下突然波动,从而控制诱发地震的幅度并防止破坏性地震。Regs整合了可再生能源的大规模地下存储,实现了多能补充并增强了Regs项目的生产寿命和盈利能力。这项研究的最终成员将为试点项目和标准化促进技术的标准化奠定基础,用于融合的热量和发电,与储能集成在一起,用于中国深地热能。