AMC - 空气分子污染描述了在洁净室和超洁净室中基于硅晶片的半导体器件整个生产领域的问题。洁净室和超洁净室是特殊制造工艺所必需的,在这些工艺中,普通环境空气中存在的颗粒或化学物质会在微米范围内干扰集成电路的图案化。因此,该术语描述了洁净室空气中的固体、液体或气体污染物,这些污染物对制造的工件具有不良的化学或物理影响。这特别包括在硅晶片上半导体器件的所谓前端制造中生产过程各个步骤中使用的所有化学品。
摘要大气压力等离子体射流(APPJS)用于治疗表面(无机,有机和液体)的最佳用途取决于能够控制等离子体生成的反应物种流向表面的流动。典型的APPJ是一种稀有的气体混合物(RGM),该混合物(RGM)流过施加电压的管,产生RGM等离子体羽流,可延伸到环境空气中。由于电离波(IW)需要较高的电场才能传播到空气中,因此RGM等离子体羽流由周围的空气罩引导。将环境空气与RGM等离子体羽流的混合确定活性氧和氮种(RONS)的产生。AppJ通常是垂直于被处理的表面的定向。然而,由于AppJ传播性能的变化和所得的气体动力学,APPJ相对于表面的角度可能是控制反应性物种到表面的一种方法。在本文中,我们讨论了针对两个点的计算和实验研究的结果 - 具有或不具有指导气体罩的Appj中的IWS作为AppJ相对于表面的APPJ角度的函数;并使用该角度控制薄水层的血浆激活。我们发现,从等离子体管中传播到同一气体环境中的APPJ缺乏裹尸布引导的喷气机的任何方向性特性,并且随着等离子管的角度的变化,很大程度上遵循电场线。引导的Appjs随着角度的变化而同轴繁殖,并垂直向表面垂直转动,仅在表面上方只有几毫米。APPJ的角度产生不同的气体动态分布,从而可以对转移到薄水层的RON的含量进行一定程度的控制。
设立退役资产处置管理局(管理局),授权其代表项目实体向犹他州空气质量部门(DAQ)提交综合空气许可证申请。申请可能反映至少有一个发电机组仍在运行的情况。 建立管理局提交申请以及 DAQ 评估申请的流程和时间表。 指令管理局与犹他州能源开发办公室(OED)合作开展一项研究,评估 DAQ 颁发新空气许可证的挑战及其对州实施计划的影响——州实施计划是一套法规和文件,州用于遵守国家环境空气质量标准。
环境空气从前开口不锈钢底座的槽口吸入,然后通过工作台面下方,从那里吸入并吹入再循环和排气风扇的集气室。负压集气室的“生物动力密封系统”确保所有受污染颗粒都保留在系统内部,并自动吸入集气室或压力室,由主再循环和排气 HEPA 过滤器捕获。风扇系统确保柜体的任何部分都不会受到实验室的正污染压力,从而保护和保护环境和操作人员免受生物污染物的侵害。70% 的过滤空气以 ISO 5 层流模式再循环(通过 H14 HEPA 后)向下进入工作室,其余 30% 通过另一个 H14 HEPA 过滤器排放到大气中。
提高能源效率的技术 目前,实现高效燃烧过程的主要方法有两种。第一种方法是使用高脉冲(或高速)燃烧器。这些燃烧器通过高流出速度将热气直接返回燃烧室,大大增加了炉内的湍流。第二种方法是在燃烧过程中使用纯氧代替环境空气,从而减少体积流量,从而减少废气损失。但燃烧所用的能源仍然是化石燃料,导致不良排放。在过去的几十年里,人们开发了几种组件和工艺,利用废热提供电力、制冷和工艺热,进一步提高了热系统的效率。4
燃气热泵热加热器(GHPWH)使用燃烧热量来驱动热力学循环,该循环从环境空气中吸收热量并将其转移到间接储罐中的水中,除了通过天然气或丙烷的燃烧提供的热量。结果是一个高效(约1.5的COP),可降低能源使用,实用性成本和碳排放。与电动热泵热水器不同,GHPWH通常由安装在室外安装的热泵组成,该热泵氢气连接到机械室中安装的间接储罐。根据每日热水的不同,建议将传统的燃气热水器(储藏或无罐)下游,以处理峰值负荷。表1中提供了其他规格。
Heliotherm 是欧洲领先的热泵制造商。该公司由总经理 Andreas Bangheri 于 1987 年创立,总部自 2007 年起设在奥地利蒂罗尔州的 Langkampfen。除了公司的下属机构外,还有独特的研发中心,拥有自己的耐久性测试台和气候室。“奥地利制造”产品质量标签已获得认可,并不断制定新标准。高效热泵系统利用自然界中储存的免费能源,如环境空气、水和土地,进行加热、冷却和制备生活热水。Heliotherm 的专利技术可实现高效性能装置,因此该系统有权获得最大资金支持。