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摘要:双曲超材料的未来应用需要具有替代超薄导电/电介质膜的材料堆栈,这些薄膜具有良好的厚度均匀性和降低的粗糙度。在这项工作中,使用田口方法优化了铝的脉冲直流磁控溅射技术,以制造具有改进的粗糙度水平的铝膜。进行的结构表征证明了较小的铝畴和更好的表面均匀性。优化的工艺用于制造 Al / HfO x 多层结构作为超材料介质。在紫外/可见光范围内对所制造的结构进行了光学表征。所提出的发现证明了所检查堆栈的有效反射率的可调谐性效应。所提出的结果对于未来基于双曲超材料的新型光子装置中的多层结构的应用很有希望。