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第 7 章 ................................ 700-19 至 700-22 .............. 1991 年 3 月 1 日 700-23 至 700-29 .............. 1990 年 7 月 2 日 701-1 ................................... 1990 年 7 月 2 日 701-2 至 701-5 .................初始 701-6 至 701-7 ................. 1991 年 3 月 1 日 701-8 至 701-11.. .............. 1990 年 7 月 2 日 701-12 至 701-13 .............. 1991 年 3 月 1 日 701-14 至 701-15 .............. 1990 年 7 月 2 日 701-16 至 701-17 .............. 1991 年 3 月 1 日 701-1'8 至 701-21 ..............初始 701-22 至701-23 .............. 1990年7月2日 701-24 至 701-27 ..............初始 701-28 至 701-35 .............. 1990年7月2日 701-36 至 701-39 ..............初始 701-40 至 701-41。............. 1991 年 3 月 1 日 702-1 至 702-2 ................. 2990 年 7 月 702-3 ................................... 1991 年 3 月 1 日 703-1 至 703-26 ................ 1991 年 3 月 1 日 704-1 ................................... 1991 年 3 月 1 日 704-2 至 704-5 .................初始 704-6 至 704-7 ................. 2990 年 7 月
Best-Paper Award , NeurIPS R-FoMo Workshop Rising Star in AI Award , King Abdullah University of Science and Technology Queen Elizabeth II Graduate Scholarship , University of Alberta (C$,) CGS-M , Natural Science and Engineering Research Council of Canada (C$,) Walter H. Johns Graduate Fellowship , University of Alberta (C$,) Science Graduate Scholarship , University of Alberta (C$,) Kao艾伯塔省大学(C $,)艾伯塔大学(C $)艾森科大学(C $)艾伯塔大学(C $,)Suncor Energy奖学金,Suncor Energy(C $,)Jason Lang奖学金(C $,C $,SUNCOR SUNCOR ENFERCE奖学金(C $)Suncor Energy,Suncor Energy,Suncor Energy,Suncor Energy,Suncor Energy,Suncor Energy,Suncor Energy(C $,)
特拉维夫大学材料科学与工程系,拉马特阿维夫 6997801,以色列 摘要 先进的 2D 材料(如 MXenes)表现出卓越的电气、机械和热特性,使其成为集成电路架构中理想的替代品,而传统金属元件则受到持续小型化和功率限制的挑战。在这项工作中,我们介绍了一种可扩展的方法,通过结合光刻和旋涂技术来制作 10 纳米以下 MXene 薄膜图案。这种方法可确保形成均匀的微图案,而创新的、简单的 HCl 处理步骤可有效清除盐残留物,这是 MXene 合成中反复出现的问题。所得 MXene 薄膜厚度约为 6-7.5 纳米,光学透明,能够精确地进行微图案化,横向分辨率低至 2 µm。严格的分析表明,这些薄膜表现出卓越的导电性,并且 MXene-Si 结具有高光敏性。所提出的方法与现有的微电子制造装置无缝集成,标志着 MXene 在柔性、透明和可穿戴电子产品(从互连线和电极到高灵敏度光电探测器)中的应用取得了重大进展。