Wirebondinghasbeenthemostwidelyusedandflexibleform of interconnecting technology in semiconductor manufacturing [1] .Themechanicalreliabilityofwirebondsinamicroelectronic package depends to a big extent on the formation of intermetallic compounds at the interface, environmental stress cycling of the module, fatigue and bonding process itself.债券过程控制和债券质量监控一直是制造OEM的主要关注点。电线键合是一个复杂的过程,具有许多参数(例如功率输入,粘结压力,粘结时间,阶段温度,传感器配置)。对于这样的制造过程,确定主要因素及其影响对于过程优化很重要。常规传感器组件包括以一端耦合的PZT(铅 - 循环酸 - 二烷基)驱动元件,以及键合工具耦合到传感器的输出端。为了维修/更换需求,该工具在组件上螺钉固定。这是具有“蟹腿”键合工具的三维结构。螺钉固定条件(工具上的扭矩值)可能会影响包装实践中的传感器性能,但是很少有有关此
摘要 在激光辅助键合工艺中检查激光束和芯片是否对准的动作称为芯片束对准。当前的芯片束对准方法是简单的肉眼目视检查,这使得该方法极易受到人为错误的影响,因为它取决于负责它的工程师/操作员的感觉和能力。此外,它缺乏明确的定量评估标准。本研究的目的是开发一种基于计算机视觉算法的无人为错误的芯片束对准方法。专用的图像采集相机与基于计算机视觉的定制软件相结合,成功地将芯片和激光束对准,精度为 0.060 毫米。简单的硬件设置与用户友好的软件相结合,使其成为一种方便的现场使用方法。 关键词 计算机视觉、芯片束对准、激光辅助键合、LAB。
热键合(TSB)是一种模具到die的键合方法,它在粘结过程中将新型的热压缩键合与超声波(美国)焊接结合在一起,因此,在微电子粘结应用中使用了每种质量的最佳质量。最初,TSB主要用于电线键合技术[1]。我们引入的引入通过降低在半导体制造中非常有吸引力的施加的粘结压力和温度来增强键合过程。Flip-Chip键合是针对区域阵列连接的一种无焊的模具到die键合技术(图1)。该方法用于将ICS底部的一系列金色凸起(图2)连接到基板上的镀金垫上。通常使用热压缩键合法[2],这是一个简单,干净且干燥的组装过程。纯热压缩键合通常需要> 300°C的界面温度[2,3]。此温度会损坏包装材料,层压板和一些敏感的微芯片[4]。这种下一个级别的键合解决方案在翻转芯片键合中非常有利,因为界面温度和粘结力通常可以低得多。分别在100至160°C和20和50g/ bump之间[2]。
最新标准“ New Dual ”功率模块已为硅和碳化硅器件开发,以满足高可靠性和高温电力电子应用日益增长的需求。由于新封装刚刚开始投放市场,其可靠性性能尚未得到充分研究。本文研究了基于新封装的 1.7 kV/1.8 kA IGBT 功率模块的功率循环能力。研究了功率循环前后的电气和热性能。在 Δ T j = 100 K 和 T jmax = 150 ◦ C 的 120 万次循环之后,芯片和键合线均无明显性能下降。尽管如此,在测试环境中传导电压 (V ce ) 增加的寿命终止标准在约 600 k 次循环时已达到。进一步的扫描声学显微镜测试发现,疲劳位置从传统的近芯片互连(例如,键合线剥离)转移到直接键合铜 (DBC) 基板和底板层。考虑到新封装的循环寿命是传统功率模块的十倍以上,随着互连技术的进一步改进,预计热机械疲劳将不再是寿命限制机制。同时,随着先前的瓶颈(例如键合线)得到解决,一些新的疲劳机制(例如 DBC 的分层)在新封装中变得明显。
第一个隐藏铰链 DMD(1993 年)。阵列大小为 768 x 576,投射图像的部分为 640 x 480。这张独特的照片捕捉了一个历史事件,一个集成电路产生了一个人大小的投影图像。投影镜头的视野扩大了,不仅可以显示 DMD 芯片,还可以显示周围的封装和将芯片电连接到封装触点的键合线。作为尺寸参考,DMD 芯片处的图像对角线为 0.53 英寸,键合线的直径为千分之一英寸(25 微米)。
• 设计、开发、生产 • DBC、厚膜和薄膜技术 • 多层基板 • 混合信号定制电路 • 芯片和电线 • 共晶、焊料和环氧树脂芯片粘接:.0007” - .003” 金线键合 .001” - .020” 铝线键合 • 有源修整 • 大直径电线/电源应用 • 接缝密封/电阻焊接 • 引线成型 • 符合 MIL-PRF-38534 的环境筛选和质量一致性检查
在设计用于宽带模拟和数字的包装时,例如在串行通信链路或测试和测量应用中使用的包装,必须格外小心,以确保通过芯片上的芯片维持信号保真度到芯片外互连路径。芯片,例如电子测试仪器中使用的串行收发器或放大器,可能具有从DC到10s GHz的操作带宽,并且通常将其集成到50 O系统中。在包装和印刷电路板(PCB)上设计受控的阻抗传输线,这是一个相对简单的物质。但是,这两个领域之间的连接变得更加复杂。片上受控信号路径通常通过电线键连接路由到芯片上受控的阻抗路径。电线键连接由一端连接到IC上的键垫的电线组成,并在另一端连接到包装基板上的传输线(或直接在芯片板应用中的PCB上)。由于这些线键是电线的薄环,从接地平面上循环,它们几乎总是对电路感应,在信号路径中显示出比更高的特征阻抗的一部分。图。1。此简化的图形在陶瓷包装基板上显示了一个腔化的IC。模具位于陶瓷基板形成的腔体内,并粘合到铜模板上。粘结线从芯片控制的阻抗传输线连接到包装基板上的传输线。芯片厚度和陶瓷底物的厚度大致相等,因此
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小芯片将 SOC 分解成复合部件,从而形成更小的芯片,然后可以将其封装在一起作为单个系统运行,从而提供潜在的优势,包括提高能源效率、缩短系统开发周期和降低成本。然而,在 AI 计算快速创新的推动下,需要封装方面的进步才能更快、更高效地将小芯片从研究转移到量产。