机构名称：
¥ 1.0
1 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室，北京 100029；liyongliang@ime.ac.cn（YL）；zhouna@ime.ac.cn（NZ）；zhangqingzhu@ime.ac.cn（QZ）；duanyan@ime.ac.cn（AD）；zhangyongkui@ime.ac.cn（YZ）；gaojianfeng@ime.ac.cn（JG）；kongzhenzhen@ime.ac.cn（ZK）；linhongxiao@ime.ac.cn（HL）；xiangjinjuan@ime.ac.cn（JX）；lichen2017@ime.ac.cn（CL）；yinxiaogen@ime.ac.cn（XY）；liyangyang@ime.ac.cn（YL）；wangxiaolei@ime.ac.cn（XW）；yanghong@ime.ac.cn（HY）； maxueli@ime.ac.cn (XM); hanjianghao@ime.ac.cn (JH); tyang@ime.ac.cn (TY); lijunfeng@ime.ac.cn (JL); yinhuaxiang@ime.ac.cn (HY); zhuhuilong@ime.ac.cn (HZ); rad@ime.ac.cn (HHR) 2 中国科学院大学微电子研究所，北京 100049 3 北京有色金属研究总院智能传感新材料国家重点实验室，北京 100088 4 北方工业大学电子信息工程学院，北京 100144；zhangj@ncut.edu.cn (JZ); tairanhu1@gmail.com (TH) 5 中瑞典大学电子设计系，Holmgatan 10, 85170 Sundsvall，瑞典 * 通讯地址：lijunjie@ime.ac.cn (JL); wangwenwu@ime.ac.cn (WW); wangguilei@ime.ac.cn (GW); 电话：+ 86-010-8299-5508 (WW)
材料
主要关键词
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