机构名称：
¥ 1.0
工艺要求：40°C 至 90°C 工艺时间：<30 分钟 设备：浸没、批量喷淋和/或单晶圆 直接水冲洗 槽寿命：>72 小时至数周 流速：3-12/分钟 取决于工艺工具和残留物 批量喷淋中可能需要高流量喷嘴 自动喷淋工具标准工艺应用： 步骤 时间 RPM 工艺源 排水 1 0:05 35 预热室 废液 2 0:15 100 化学回收至排水 T1 废液
TechniStrip® D350
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