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课程目标1.研究MOSFET的特征。2.使用设备,工艺和化学反应性数据来定义特定制造模块的过程流。3在处理参数中区分和分析基本权衡的能力以及这些能力如何影响所需的过程输出。4.理解制造技术和可能的解决方案中的基本挑战。
主要关键词