三栅连接粉末的非平面3D结构使它们能够缩放到22nm及以后,并且具有更好的性能。但是鳍宽度的变化对设备性能有影响。在本文中,已经评估了各种鳍片宽度对无连接三栅极鳍片的影响。对不同的设备电气参数,例如电流,关闭电流,I ON /I OFF,阈值电压,子阈值斜率,DIBL,跨导率进行了不同的鳍宽度和分析。结果表明,对于长通道设备,以较高的I ON /I OFF和较小的子阈值斜率值,DIBL的较小值获得了更好的性能,而对于短通道长度设备,由于较小的鳍片宽度较小,由于较小的鳍片宽度,由于降低了较小的鳍片宽度,因此较小的下端斜率和DIBL和IN /I ON /I ON /I ON /I ON /I off比例提高。
主要关键词