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材料描述SU-8 3000CF-05A DFR是一种光敏的永久性负面色调干膜抗性。利用低卤素环氧树脂和无锑配方。SU-8 3000CF-05A DFR可以制造化学和热稳定的结构。,例如用于锯和BAW滤波器腔套件,MEMS传感器和微流体设备的支撑墙和封盖层。
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