SU-8 2000 是一种高对比度、环氧基光刻胶,专为微加工和其他微电子应用而设计,这些应用需要厚实、化学和热稳定的图像。SU-8 2000 是 SU-8 的改良配方,多年来已被 MEMS 生产商广泛使用。使用干燥速度更快、极性更强的溶剂系统可提高涂层质量并提高工艺产量。SU-8 2000 有 12 种标准粘度。单次涂覆工艺即可实现 0.5 至 >200 微米的薄膜厚度。薄膜的暴露部分和随后的热交联部分不溶于液体显影剂。SU-8 2000 具有出色的成像特性,能够产生非常高的纵横比结构。SU-8 2000 在 360 nm 以上具有非常高的光透射率,这使其非常适合在非常厚的薄膜中对近垂直侧壁进行成像。 SU-8 2000 最适合于在设备上成像、固化并保留的永久性应用。
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