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ATV 凭借其成熟的直接红外加热方法,为 SRO-706 吸气剂系统应用了顶部和底部加热。红外灯阵列作为 2 个独立的加热区进行独立监控和控制。这使得在热吸气剂工艺中达到最高温度 450°C 时,在真空下具有出色的加热均匀性。在吸气剂激活过程中,传感器或芯片温度保持在 100°C 以下。可选地,可以添加质谱仪

SRO-706 吸气剂

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