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使用扫描探针显微镜 (SPM) 中的自动化实验探索介电薄膜中的电子传导途径。在这里，我们使用大视场扫描来确定局部导电点的位置，并开发 SPM 工作流程以自动化方式探测它们在更高空间分辨率下的动态行为，这些行为是时间、电压和扫描过程的函数。使用这种方法，我们观察到 20 纳米厚的铁电 Hf 0.54 Zr 0.48 O 2 薄膜中导电点的变化行为，其中导电点在连续扫描过程中消失并重新出现。扫描过程中还会出现新的导电点。自动化工作流程是通用的，可以集成到各种显微镜技术中，包括 SPM、电子显微镜、光学显微镜和化学成像。
通过自动化技术探索介电薄膜中的泄漏...
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