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本硕士论文的目的是确定特定半导体工厂的运营机会,以提高最终产品的生态效率。先前的研究调查了化学替代品。英飞凌很早就开始开发高效工艺,通过使用替代气体来减少温室气体的使用。在更明智、更环保的日常决策中也可以找到显着的节约机会。解决上述目标的方法将由以下方法支持:
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