X 射线源:AlKα(1.48keV),单色光斑尺寸:直径约 200μm 分析时压力:10-8mbar 至 25mbar 分析时温度:最高 1000℃ 可插入最大尺寸为 40mm(宽)x 40mm(长)x 40mm(高)的单个样品 可插入最大尺寸为 10mm(宽)x 10mm(长)x 40mm(高)的多个样品 可插入最大尺寸为 10mm(宽)x 10mm(长)x 5mm(高)的空气和湿度敏感样品 三个摄像头用于实时观察样品 惰性/反应剂:N2、Ar、H2、O2、CO、CO2、H2O 快速样品加载程序 使用氩离子溅射进行表面铣削,可进行深度剖析 用于空气或湿度敏感样品的惰性样品转移系统 用于设置测量位置和时间的半自动系统条件和任务调度