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微型机械结构的开发和制造已有数百年历史，其中最著名的是钟表制造商。制造尺寸非常小且公差更小的物体通常被称为“精密工程”。微工程是一项相对较新的技术，只有大约二十年的历史，主要利用从微电子行业借用的技术。然而，微电子通常使用二维设计和制造，而微工程需要三维精密制造。首字母缩略词 MEMS 代表微机电系统，最早于 20 世纪 80 年代在美国使用。在欧洲，短语 MST（微系统技术）也用于代替 MEMS，日本人使用术语微机械。出于本报告的目的，我们将使用首字母缩略词 MEMS。在科学和工程领域，新技术的出现通常有两个驱动因素。首先，是新技术的发现或寻找新技术的动力。其次，需要解决方案来解决特定的工程问题。可以说 MEMS 技术由这两个因素组成，因为它是一项相对较新的技术，但另一方面，它提供了一种改进的现有设备制造方法。本报告是 DTI 国家测量系统工程测量计划 2005 - 2008“先进传感器计量”资助项目的一部分。撰写本报告的主要原因是根据这些发现以及与目前生产 MEMS 传感器的英国主要工业公司的讨论，为项目后续研究和开发部分的制定提供建议。本报告分为两部分：第 2 章至第 5 章介绍当前的 MEMS 传感器技术、制造技术和常见故障模式。需要了解这方面的一些知识才能理解第 6 章及以后的内容，这些章节集中讨论了当前计量技术对 MEMS 行业和工业要求的局限性。
NPL 报告 MEMS 传感器和计量概述...
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