单片微电路(或集成电路)。一种微电路,仅由在单个半导体基板上或内部原位形成的元件组成,其中至少一个元件形成在基板内。大多数合格的 QML 供应商都使用铝楔形键合,大概是为了保持 IC 上的键合为单金属。
本文介绍了一种无需依赖载体晶圆即可直接放置芯片到晶圆的替代方法,该方法专门针对混合键合、3DIC 和集成光子学应用而设计。芯片到晶圆键合是异质垂直集成设备制造中的关键工艺,通常涉及在集成到目标晶圆之前将各个芯片放置到载体或处理晶圆上的中间步骤。这种传统方法增加了成本、复杂性、潜在的兼容性问题和工艺步骤。在本研究中,我们提出了一种简化的工艺,消除了对载体晶圆的需求,从而简化了集成并减少了制造步骤。利用大气等离子清洗,我们清洁并激活芯片和目标晶圆的表面,以促进直接放置键合。通过实验验证,我们证明了这种方法的可行性和有效性。我们的研究结果展示了成功的芯片到晶圆键合,界面污染最小,键合强度增强。此外,我们还探讨了大气等离子清洗参数对键合质量的影响,为工艺优化提供了见解。这项研究为芯片到晶圆键合提供了一种有前途的替代方案,提高了垂直集成电路制造的效率和简便性,特别是在混合键合、3DIC 和集成光子学应用领域。
摘要 — 这项工作提出了一种新方法,将微/纳米级多孔铜反蛋白石 (CIO) 融入 Sn 基焊料微凸块中,与低温 CMOS 后端 (BEOL) 工艺兼容。微孔结构可使临界孔径小至 5 μm 甚至小至 200 nm(基于凸块尺寸)。这种多孔辅助键合技术具有巨大潜力,可提高细间距 Cu/Sn 键合界面的热导率和机械可靠性。在这项工作中,我们已成功制造并展示了直径为 100 μm 的 Cu 凸块上孔径为 3 μm 的基于 CIO 的微孔结构,实现了 3 μm - 5 μm 的目标厚度,这通过聚焦离子束显微镜 (FIB) 分析得到证实。Cu-CIO 和 Sn 焊料键合界面的微观结构和元素映射表明,熔融焊料可以渗透这些铜 CIO 微孔结构。这样,微凸块就可以通过毛细力进行自对准,形成坚固的机械相互扩散键。此外,采用简化的有限元法 (FEM) 表明,基于 CIO 的微/纳米多孔铜基质结构有可能将 Cu/Sn 键合层的等效热导率提高 2-3 倍。
这项工作介绍了优化的模型和数值模拟的结果以及基于CNT的GAAS/INAS多个量子井(从5到70 QWS)GAAS太阳能电池的分析。这些QW被发现将吸收边缘延伸到GAA带隙的范围之外。此外,随着模型中引入宽带插入式凹陷后面场(BSF)层,由于从设备底部反射了未吸附的光子,因此提高了效率,从而提高了效率。所提出的模型使用异质的CNT层作为顶部半透明电极。可以观察到,这种具有较低板电阻和更好光线的CNT顶层可以显着提高整体效率。我们的优化单元格具有35 number 25nm量子井结构,具有100 nm CNT顶层,板电阻为128Ω/□可将效率提高到32.46%(没有CNT顶层)。EQE接近90%。为了显示我们发现的准确性,显示了数值建模的关键阶段,并使用标准实验数据检查了基本仿真数据。在创建商业上可行的QWSCS迈出的重要一步是建议基于CNT的QWSC模型在现代TCAD工具环境(Silvaco Atlas)中的有效应用。keyowrds:碳纳诺管(CNT),INAS/GAAS,SILVACO TCAD,量子井太阳能电池(QWSC)
抽象的传统制造行业目前沉浸在自动化过程中,集成了新技术和工具,这是由生产商要求改善制造过程以及员工工作条件的需求所驱动的。对于鞋类行业来说,粘合是在制造过程中的关键操作,在该过程中,外底被组装到持久的鞋子上。但是,在此操作中,工人通常会受到危险物质(即有机溶剂)的危害,并执行具有有限附加值的重复任务。在这种背景下,本文描述了一个研究项目的结果,其目的是从分析的不同技术中获得最大收益,例如协作机器人技术,人造视觉和多机器人控制,以操纵灵活/可变形物体。该项目的主要结果是在生产线中引入的鞋子粘合机机器人工作栏,以完全自动化操作。此工作电池集成了三个协作机器人,一个用于(热融化)粘合剂应用,另外两个则与两指电动握把,以同步进行粘合。也已嵌入了不同的视力系统以进行所涉及的各种过程。整个操作通过ROS(机器人操作系统)进行控制和协调。这项研究的主要发现展示了人类传统上进行的过程的自动化。在这种新颖的方法中,两个机器人合作操纵灵活的物体,使操作员免于重复,非价值补充的任务和处理危险物质的处理。
铟凸点阵列在量子计算中的应用越来越广泛,因为其对共面性和键合线厚度控制以及高质量电气互连的要求非常严格,红外焦平面阵列 (IR FPA) 显示出对更高分辨率的持续追求,这意味着更小的凸点、更高的密度和更大的表面积,最后,消费市场对 µLED 或 Micro LED 的需求越来越大,这意味着细间距铟互连需要更高的吞吐量。
大于 0.1 m,无论是平面化还是未平面化的测试 µ 芯片。凸块侧壁略微倾斜,因此凸块的平面化会略微增加凸块面积,见表 2。平面化工艺似乎还会使软金凸块略微变脏,见图 4。平面化凸块的凸块面积比未平面化凸块大 5% 到 15%。
在发展中国家,LDES已经表明,化石燃料的选择更便宜。例如,印度已经看到了一系列的“全天候”和“企业且可调节的电力”拍卖,其中可再生能源容量与储能集成在一起,以供应定制的供应解决方案。在2020年的第一个招标中,格林科集团是获胜的竞标者,固定关税为4.04/kWh(约合49美元/兆瓦),全天候供应,包括至少6小时的峰值供应。招标允许对公用事业的需求和供应有明显的灵活性。接收者国家(果阿和哈里亚纳邦)以卢比的价格购买新的煤炭。6.2-6.3/kWh(约合75美元/兆瓦)。因此,对于