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大于 0.1 m,无论是平面化还是未平面化的测试 µ 芯片。凸块侧壁略微倾斜,因此凸块的平面化会略微增加凸块面积,见表 2。平面化工艺似乎还会使软金凸块略微变脏,见图 4。平面化凸块的凸块面积比未平面化凸块大 5% 到 15%。
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