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我们研究了 SiC (0001) 上 Ti / Au 与单层外延石墨烯的接触,以用于量子电阻计量。使用量子霍尔范围内的三端测量,我们观察到接触电阻的变化范围从最小值 0.6 Ω 到 11 k Ω 。我们发现高电阻接触的主要原因是双层石墨烯对量子霍尔电流的干扰,同时忽略了界面清洁度和接触几何形状对我们制造的设备的影响。此外,我们通过实验展示了提高低电阻接触(< 10 Ω)可重复性的方法,适用于高精度量子电阻计量。C 2015 作者。除非另有说明,否则所有文章内容均根据知识共享署名 3.0 未移植许可证获得许可。[http://dx.doi.org / 10.1063 / 1.4928653]

用于量子计量的外延石墨烯器件的低接触电阻

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