金属结构的精确图案化在可行的金属基器件的开发中起着至关重要的作用。通过研究适当蚀刻材料层的蚀刻条件,可以进一步优化和控制蚀刻过程。这项工作报告了使用四氯化硅 (SiCl 4 )/氩 (Ar) 等离子体对钽 (Ta) 微米膜进行反应离子蚀刻 (RIE)。研究了蚀刻特性与 SiCl 4 /Ar 比率、等离子体功率和腔室压力的关系。结果发现,增加 SiCl 4 的流速或等离子体功率会导致蚀刻速率增加。此外,观察结果表明,将 Ar 的流速增加到 30 sccm 以上和将等离子体压力增加到 100 mTorr 以上是无效的。此处实施的工作代表着开发可用于广泛设备的钽基结构的重要一步。
本文介绍了法国Villeurbanne的Laboratoire deLaMatière,法国Villeurbanne摘要:对Ni-Al合金的调查,在本文中介绍了在P型4H-SIC上形成欧姆的接触。检查了Ni/Al接触的几个比例。在1分钟内在400°C的氩气气氛中进行快速热退火,然后在2分钟内在1000°C下退火。为了提取特定的接触电阻,制造了传输线方法(TLM)测试结构。在p型层上可重复获得3×10-5Ω.cm2的特定接触电阻,而N a = 1×10 19 cm -3的掺杂,由Al 2+离子植入进行。测得的最低特异性接触电阻值为8×10-6Ω.cm2。引言硅碳化物是一种半导体,它在硅中具有多种优越的特性,例如宽带镜头三倍,高电场强度(六倍),具有铜和高电子饱和度漂移速度的高热电导率。由于SIC单晶生长晶粒已被商业化,因此在SIC应用中进行了深入的研究[1],用于高温,高频和高功率设备。半导体设备参数控制开关速度和功率耗散的强大取决于接触电阻[2]。为制造高性能的SIC设备,开发低阻力欧姆接触是关键问题之一。目前正在限制SIC设备的性能,特别是因为与P型材料接触[3-7]。这些接触通常采用铝基合金[3,7]。已经研究了许多不同的解决方案,并且非常关注Ti/al [3-5],该溶液在p -SIC上产生了10 -4-10-5Ω.cm2的特定接触电阻。最近通过使用诸如TIC [6]的替代材料(诸如TIC [6]的替代材料产生改进的接触的尝试,导致了低于1×10-5Ω.cm2的特定接触电阻,但是这些接触需要“外来”材料和非标准制造技术。另一方面,一些调查集中在接触Ni/Al [7,8]上,优势是形成欧姆行为无论构成不管构成。在本文中,通过不同的参数提出并讨论了p-SIC上Ni/Al欧姆接触的形成。用不同的参数实现了一组样品。善良的注意力首先集中在表面制备上,尤其是有或没有氧化的情况。然后,研究并讨论了触点中的特定电阻与AL含量。最后,也分析了退火序列的效果。使用标准的梯形热处理特征用于1000°C的退火,然后通过在400°C的中间步骤添加1分钟进行修改。实验样品是4H-SIC N型底物,其n型表层掺杂以10 15 cm -3的掺杂,从Cree Research购买。通过浓度为n a = 1×10 19 cm -3的Al 2+离子植入获得P型区域。在Argon Ambient下,在45分钟内在1650°C下进行射入后退火[9]。首先在溶剂中清洁样品,然后再清洗“ Piranha”溶液。冲洗后,将RCA清洁应用于样品,然后将它们浸入缓冲氧化物蚀刻(BOE)中。清洁后,立即在1150°C的干氧中生长了SIO 2层2小时。光刻来定义传输线方法(TLM)模式,并在将样品引入蒸发室之前就打开了氧化物。Ni的接触组成,然后通过电阻加热沉积AL。最终通过升降过程获得了TLM触点。仅在几分钟内在1000°C下在1000°C下在Argon大气下进行退火后才能建立欧姆接触的形成。
X 射线源:AlKα(1.48keV),单色光斑尺寸:直径约 200μm 分析时压力:10-8mbar 至 25mbar 分析时温度:最高 1000℃ 可插入最大尺寸为 40mm(宽)x 40mm(长)x 40mm(高)的单个样品 可插入最大尺寸为 10mm(宽)x 10mm(长)x 40mm(高)的多个样品 可插入最大尺寸为 10mm(宽)x 10mm(长)x 5mm(高)的空气和湿度敏感样品 三个摄像头用于实时观察样品 惰性/反应剂:N2、Ar、H2、O2、CO、CO2、H2O 快速样品加载程序 使用氩离子溅射进行表面铣削,可进行深度剖析 用于空气或湿度敏感样品的惰性样品转移系统 用于设置测量位置和时间的半自动系统条件和任务调度
本文介绍了基于金属有机骨架 (MOF) 晶体表征的孔径分布分析,这些金属有机骨架具有分级孔系统 DUT-32、DUT-75、UMCM-1 和 NU-1000,并利用它来了解这些独特孔结构中的气体吸附。统计分析用于有效地将孔隙空间划分为由孔径标记的不同区域。在模拟 87 K 氩气吸附期间,该孔描述用于发现吸附质相对于不同孔隙的位置。为了进一步研究吸附行为,开发了一种聚类孔隙环境以定位孔隙中心的方法。这些孔隙中心用于观察孔隙内气体的分布,从孔隙中心的独特视角描述填充事件期间的吸附质位置。本文介绍的方法提供了有关孔隙结构和吸附特性的无与伦比的信息,这些信息无法通过现有方法获得,现在可以应用于新材料以揭示新的吸附过程。
手套箱是最近在工程领域用于制造高级材料的工具,这需要严格的环境控制以进行处理。手套箱使处理和处理危险和反应性材料成为可能。像plotonium这样的放射性材料专门在手套箱中处理,用于燃料制造和涉及燃料重新处理的过程[1]。手套箱的主要商业应用之一是在制造锂离子电池中使用。用于制造电池的手套箱在高度严格的状态下操作,其中氧气和水分保持在低于1 ppm的状态[2]。手套箱在处理反应材料时清除惰性气体(如氩气和氮),将其保持在惰性气氛中[2]。手套箱还保持着轻微的正压,以防止进入大气气体。橡胶手套倾向于渗透气体,因此需要正压[3]。手套箱通过通过再生系统循环惰性气体来实现高水平的纯度[4]。在再生系统中,惰性气体通过铜等加热的Getter材料传递。
摘要:我们报告称,通过将市售的 Ti:Sapphire 飞秒、1 kHz 激光系统与光参量放大器 (OPA) 相结合,实现了近 50% 的高转换效率。对于 1 kHz 和 35 fs 持续时间的 2.2 mJ/脉冲的输入能量,在信号波长为 1310 nm 时,信号加上闲置脉冲的总 OPA 输出能量为 1.09 mJ/脉冲。我们发现,由于 OPA 中的高增益饱和,输出光束轮廓几乎是平顶的。利用信号脉冲,我们在气体中产生高次谐波,并测量从氩气中电离的光电子的速度图图像与信号波长的关系。我们观察到,在高次谐波光子能量的特定范围内,在低动能区域观察到四倍光电子角结构。我们的结果表明,具有高转换效率OPA和超高斯光束轮廓的输出脉冲可用于需要在极紫外区域产生可调谐高次谐波的实验。
摘要:深层中微子实验(Dune)是旨在研究中微子振荡的下一代实验。其长基线配置将利用近检测器(ND)和位于约1300 km的距离检测器(FD)。FD将由四个液体氩时间投影室(LAR TPC)模块组成。光子检测系统(PDS)将用于检测中微子相互作用后检测器内部产生的闪烁光。PDS将基于耦合到硅光电层(SIPM)的光收集器。已经提出并生产了不同的光发音技术,以确定最佳样本以满足实验要求。在本文中,我们介绍了Hamamatsu Photonics K.K.生产的孔线结合(HWB)MPPC样品的验证活动的过程和结果。(HPK)用于沙丘实验,称它们为“ sipms”。报道了在低温温度(77 K)处进行表征的方案。我们介绍了进行下调标准以及在选择运动中获得的结果,以及对sipms噪声的主要来源的研究,包括研究该领域新观察到的现象。
二氧化钒 (VO 2 ) 作为相变材料,可控制金属和绝缘体状态之间相变过程中传递的热量。在温度高于 68 ̊C 时,金红石结构的 VO 2 可阻挡热量并增加红外辐射反射率,而在较低温度下,单斜结构 VO 2 可充当透明材料并增加透射辐射。在本文中,我们首先介绍 VO 2 在高温和低温下的金属-绝缘体相变 (MIT)。然后,我们通过 Ansys HFSS 模拟超材料反射器的超表面 VO 2 ,以显示 VO 2 的金红石和单斜相的发射率可调性 (Δε)。在下一节中,我们将回顾在玻璃和硅基板上通过改变溅射气体压力和基板温度沉积热致变色 VO 2 的最新进展。最后,我们介绍了在高于 300̊C 的温度下,用 V 2 O 5 靶在不同氧气和氩气组合的环境中在厚 SiO 2 基底上原位溅射 VO x 薄膜的结果,然后用 x 射线衍射 (XRD) 方法对其进行了分析。基于热致变色 VO 2 的超材料结构在过去几年中为被动节能光学太阳能反射器开辟了一条新途径。
Françoisbaclesse中心,Unicancer,3 AvenuegénéralHarris,14000 Caen,法国B诺曼底大学,UNICAN,UNICAN,INSERM U1086“反管”(癌症预防和治疗的跨学科研究部门) Apothicaires,34298法国D Antoine Lacassagne中心,Unicancer,De Valombrose 33号,06189法国尼斯,尼斯,Essistique - Hôpitauxde Paris,Georges Pompidou欧洲医院,20 Rue Leblanc,75015 Paris,France France france france france frane liker里尔,法国G西部癌症研究所,雷内中心Gauducheau,Unicancer,Boulevard教授Jacques Monod,44805 Saint-Heblain,法国H西部癌症研究所,Paul Papin Center,Unicancer,15 Rue Bocquel 49055 Angers Cedex Cedex,法国I Bergoniubergonié研究所,UNICER,UNICANTER,229 COURENITION,COURSENITER,CORENEN norise de l'Argon bere bere bere bere nyius bere nyius bere bere nyiiii iniius bere nyiiii bere nyiii ins ,图卢兹大学癌症研究所,1 AvenueIrèneJoliot-Curie,31059 Toulouse,法国K Citohl,Lyon Sud医院中心,临终关怀中心,Lyon(IC-HCL),69310 Pierre-Bénite m Jean Minjoz 大学医院,3 boulevard Alexandre Fleming, 25030 Besançon, 法国 n 巴黎大学,APHP,Cochin 医院,27 rue du Faubourg Saint-Jacques, 75014 Paris, 法国 o Gustave Roussy 研究所,UNICANCER,39 rue Camille Desmoulins, 94805 Villejuif, 法国 p 巴黎大学 UFR 巴黎医学中心,UMR_S1138-INSERM,法国 q 克劳德伯纳德里昂第一大学,UCBL,EA3738 CICLY,里昂,法国
摘要:本研究对先进生物材料合金快速凝固Co-Cr-Mo-C合金的微观组织和腐蚀性能进行了研究。采用快速凝固铸造方法不仅使受快速凝固影响较大的ε -HCP相的形成量发生了显著变化,而且电化学行为和凝固组织也发生了显著变化。本研究利用OM、SEM、EDS、XRD和动态电位仪研究了快速凝固Co-Cr-Mo-C合金。将钴合金锭放入充满氩气的感应炉中熔化,然后浇铸到V型砂型铜模中,制备快速凝固样品,并在不同的冷却速度下测量其性能。微观组织检查表明合金的结构主要由柱状树枝状组织组成,碳化物分布在一次和二次树枝状臂内,快速凝固将获得更细的树枝状组织以及改进的碳化物分布。这种结构将改善合金的腐蚀行为,并在以林格氏溶液作为电解质进行测试时降低其腐蚀速率。关键词:生物材料;钴铬合金;快速凝固;髋关节和膝关节植入物;腐蚀。
