出版语言:英语 摘要 早产会给父母带来意想不到的挑战,因为婴儿的护理发生在新生儿重症监护病房 (NICU),这是第一次发生亲子关系和依恋行为的地方。早产可能会对婴儿和母亲之间的亲子关系过程提出挑战,需要专门的护理,重点是父母和新生儿之间的互动和亲子关系。目的是找到有关应实施何种护理干预来支持新生儿重症监护病房 (NICU) 中母亲和早产儿之间亲子关系的信息。通过文献综述来查找信息。使用三个不同的数据库进行数据搜索:Medline、CINAHL 和 PubMed。分析了与研究问题相关的所有文章,在进行批判性评估后纳入了选定的十一项研究。结果表明,从选定的文章中发现了三个主要类别,即NICU中的挑战、护理活动和父母支持;然后将主要类别分为七个子类别。结论是,护士的教育和支持对母亲增强照顾婴儿的信心起着至关重要的作用。支持母亲的心理健康以及身体上的亲近已被证明对母亲和早产儿之间的结合过程有积极的影响。可以利用更多的洞察力来研究早产儿对兄弟姐妹的影响以及如何在新生儿重症监护室实施家庭护理方法。关键词/标签(主题)早产儿、母婴结合、护理、新生儿重症监护室。
Materials • Substrate: 200mm Silicon • Adhesion Promoter: AP9000C • Dielectric: CYCLOTENE TM 6505 Dielectric (positive tone) Bonding Evaluation 1) Priming with AP9000C: 200mm Wafer Track • 2000rpm spin coat, 150˚C/60sec 2) Spin Coat: 200 mm Wafer Track • 1250 rpm/45 sec targeting 5.5 um after development • 90˚C/90秒3)曝光工具:掩模对准器•ABCD面膜平方柱(1-300 UM功能)•20 UM接近差距4)曝光后延迟延迟:〜15分钟5)开发:200mm Wafer Track
Wirebondinghasbeenthemostwidelyusedandflexibleform of interconnecting technology in semiconductor manufacturing [1] .Themechanicalreliabilityofwirebondsinamicroelectronic package depends to a big extent on the formation of intermetallic compounds at the interface, environmental stress cycling of the module, fatigue and bonding process itself.债券过程控制和债券质量监控一直是制造OEM的主要关注点。电线键合是一个复杂的过程,具有许多参数(例如功率输入,粘结压力,粘结时间,阶段温度,传感器配置)。对于这样的制造过程,确定主要因素及其影响对于过程优化很重要。常规传感器组件包括以一端耦合的PZT(铅 - 循环酸 - 二烷基)驱动元件,以及键合工具耦合到传感器的输出端。为了维修/更换需求,该工具在组件上螺钉固定。这是具有“蟹腿”键合工具的三维结构。螺钉固定条件(工具上的扭矩值)可能会影响包装实践中的传感器性能,但是很少有有关此
基于可用的GAAS,GAN或SIC半导体,对高功率电子设备的需求不断增长,能够在超过200°C的温度下连续运行[1-3]。这需要芯片到基底组装技术的必要变化以及对替代组装基板的研究。在如此高的连续操作温度下,不能使用SAC焊料和层压板底物。SAC焊料连续操作的限制是在150°C左右的温度,而不是最佳导热率:低于50 W/MK。在底物方面,正在研究带有Cu,Ag,Au或Ni安装金属化的陶瓷底物。这些要求在过去十年[4-7]中对其他组装技术(例如基于Ag糊的烧结或滑动(固体液体互化)技术)的兴趣日益增长[4-7]。基于糊状的烧结技术正在变得重要。通过正确调整温度和烧结时间以及接触压力,具有非常好的粘附,导热率和可靠性的接触压力。经典的烧结过程可以在200°C至300°C的温度下进行,范围从10 MPa到40 MPa。键合过程的参数取决于糊剂中Ag粉末粒的大小和形状,添加剂以防止结块和使用的溶剂[8]。
图 1. a) PPO-4000 在膨胀(4 o C)和塌陷(15 o C)构象下的 MD 模拟快照。碳原子以青色表示,氧以红色表示,氢以白色表示。为清晰起见,未显示水。b) PPO-4000(蓝色圆圈)和 PPO-2000(红色三角形)水溶液的相对热容量 𝛥𝐶 𝑝 与温度的关系。显示曲线作为视觉引导。(插图)分子量为 a. 4000 b. 2000 c. 1000 d. 725 的 PPO 水溶液的实验量热曲线 [28]。
sylvain.poulet@cea.fr 摘要 — 超薄基板上柔性薄膜电子设备的出现是由开发与前端和后端工艺完全兼容的替代处理方法的需求所驱动。这项研究的目的是提出一种新的超薄玻璃基板处理方法,该方法基于直接玻璃-玻璃键合和室温剥离脱粘。通过在超薄玻璃基板(<100µm)上实现薄膜电池(<20µm)来评估这一概念。为了键合,将超薄玻璃层压在厚的载体玻璃(>500µm)上,没有中间层。薄膜电池堆栈采用连续物理气相沉积法制造,温度高达 400°C。脱粘过程在室温下通过机械剥离层压在薄膜电池上的封装膜完成。结果,脱粘后超薄玻璃(<100µm)没有任何裂纹的迹象。此外,脱粘过程之前和之后进行的电化学阻抗谱 (EIS) 和恒电流循环表明器件性能略有稳定。
薄膜硅锂(TFLN)已成为实现高性能芯片尺度光学系统的有前途的平台,涵盖了从光学通信到微波光子学的一系列应用。此类应用程序依赖于将多个组件集成到单个平台上。然而,尽管其中许多组件已经在TFLN平台上进行了证明,但迄今为止,该平台的主要瓶颈是存在可调,高功率和狭窄的芯片激光器的存在。在这里,我们使用光子线粘结解决了这个问题,将光学放大器与薄膜锂锂反馈电路集成在一起,并证明了扩展的腔二极管激光器,产生了78 MW的高芯片上功率,侧模式抑制较大,大于60 dB,大于43 nm的宽波长可调节性。在短时间内的激光频率稳定性显示了550 Hz的超鼻中固有线宽,而长期记录表明,光子线键合激光器的高无源稳定性具有46小时的无模式跳动操作。这项工作将光子线粘结验证为用于高性能在芯片激光器上的可行集成解决方案,为系统级别的升级和瓦特级输出功率打开了路径。
摘要 混合铜/电介质键合是一种成熟的晶圆对晶圆 (W2W) 键合技术,但将该技术应用于芯片对晶圆 (D2W) 键合却具有挑战性。芯片或晶圆上的极小颗粒可能会导致空隙/非键合区域。用于混合 W2W 的晶圆清洁和激活工艺已经相当成熟,但将其应用于减薄和单片化芯片进行 D2W 键合却非常具有挑战性。为了允许(部分)重复使用现有的晶圆级清洁、计量和激活工艺和设备,我们提出了一个新概念,即在玻璃载体晶圆上对芯片进行单片化、清洁和激活。在完成芯片准备步骤后,直接从载体晶圆上拾取芯片。这种方法不需要额外的拾取和放置步骤,并且避免使用传统的切割胶带。使用这种新方法进行的首次直接电介质 D2W 键合实验显示出非常有希望的键合产量,键合的 50 µm 薄芯片数量众多,完全没有空隙。此外,通过消除切割胶带,减薄晶圆和单个芯片始终由刚性表面支撑,从而实现超薄芯片处理。在本研究中,我们还报告了厚度小于 10 µm 的芯片的处理。关键词载体系统、混合键合、互连、拾取和放置、薄芯片
摘要 本研究研究了铜突起对连接电阻的影响,作为中通孔硅通孔 (TSV) 晶片混合键合的详细数据。在制备了多个具有不同铜突起量的 Cu TSV 晶片和 Cu 电极晶片并通过表面活化键合方法使用超薄 Si 膜进行键合后,通过四端测量评估了键合晶片的连接电阻(即 TSV、Cu 电极和界面电阻之和)。结果表明,Cu 突起量是中通孔 TSV 晶片与超薄 Si 膜混合键合的关键参数,通过调节 Cu 突起可以在不进行热处理的情况下实现 TSV 和 Cu 电极之间的电连接。关键词 中通孔 硅通孔(TSV) 直接Si/Cu研磨 混合键合I.引言 随着摩尔定律的放缓,带有硅通孔(TSV)[1-6]的三维集成电路(3D-IC)已经成为实现高速、超紧凑和高功能电子系统的可行解决方案。3D-IC在某些电子系统中的接受度越来越高。然而,要将3D-IC技术应用于许多电子系统,需要进一步降低TSV形成成本、实现TSV小型化和提高TSV产量。在各种TSV形成工艺中,中通孔Cu-TSV工艺可以有效减小TSV尺寸并提高TSV产量,因为该工艺易于形成(1)小TSV,并且(2)TSV与多层互连之间的电接触。然而,如果晶圆背面露出的TSV高度变化很大,则可能会发生TSV断裂或接触失效。在之前的研究中,我们提出了一种 Cu-TSV 揭示工艺,包括直接 Si/Cu 研磨和残留金属去除 [7-9](图 1),以克服这一问题。首先,使用新型玻璃化砂轮进行直接 Si/Cu 研磨,并使用高压微射流 (HPMJ) 对砂轮进行原位清洁。由于非弹性