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Brooks 仪器数字协议和 MFC 性能电子书 Brooks 仪器数字协议和 MFC 性能电子书
使用数字 MFC，您可以同时读取流量、总流量、温度、阀门驱动和其他变量，并且可以实时将这些信息传送到 PLC/DCS 或网络上的其他设备，以便采取进一步行动。您可以通过发送数字命令来利用多气体功能和动态气体范围切换。例如，您可以设置系统，以便将 MFC 从 25 标准升/分钟 (slpm) 的氧气设备更改为 20 slpm 的 CO 2 设备。
Brooks® MF Smart 系列 MFC/MFM
• 在安装、操作和维修产品之前，请阅读所有说明。如果本说明手册不是正确的手册，请参阅封底以获取当地销售办事处的联系信息。保存本说明手册以供将来参考。• 如果您不理解任何说明，请联系您的 Brooks Instrument 代表进行澄清。• 遵循产品上标记和随产品提供的所有警告、注意事项和说明。• 告知并培训您的人员正确安装、操作和维护产品。• 按照相应说明手册的安装说明以及适用的当地和国家法规安装您的设备。将所有产品连接到正确的电源和压力源。• 为确保正确性能，请使用合格人员安装、操作、更新、编程和维护产品。• 需要更换零件时，请确保合格人员使用 Brooks Instrument 指定的更换零件。未经授权的零件和程序会影响产品的性能，并使流程的安全运行面临风险。仿冒替代品可能会导致火灾、电气危险或操作不当。• 确保所有设备门都已关闭，并且防护罩已安装到位（由合格人员进行维护时除外），以防止触电和人身伤害。
Brooks® MF Smart 系列 MFC/MFM
• 在安装、操作和维修产品之前，请阅读所有说明。如果本说明手册不是正确的手册，请参阅封底以获取当地销售办事处的联系信息。请保存本说明手册以供将来参考。 • 如果您不理解任何说明，请联系您的 Brooks Instrument 代表进行澄清。 • 遵循产品上标记和随产品提供的所有警告、注意事项和说明。 • 告知并培训您的人员正确安装、操作和维护产品。 • 按照相应说明手册的安装说明以及适用的当地和国家法规安装您的设备。将所有产品连接到正确的电源和压力源。 • 为确保正确性能，请使用合格人员安装、操作、更新、编程和维护产品。 • 需要更换零件时，请确保合格人员使用 Brooks Instrument 指定的更换零件。未经授权的零件和程序会影响产品的性能，并使您的过程的安全操作面临风险。相似的替代品可能会导致火灾、电气危险或操作不当。 • 确保所有设备门均已关闭并且防护罩已安装到位（由合格人员进行维护时除外），以防止触电和人身伤害。
Brooks® MF Smart 系列 MFC/MFM
• 在安装、操作和维修产品之前，请阅读所有说明。如果本说明手册不是正确的手册，请参阅封底以获取当地销售办事处的联系信息。请保存本说明手册以供将来参考。 • 如果您不理解任何说明，请联系您的 Brooks Instrument 代表进行澄清。 • 遵循产品上标记和随产品提供的所有警告、注意事项和说明。 • 告知并培训您的人员正确安装、操作和维护产品。 • 按照相应说明手册的安装说明以及适用的当地和国家法规安装您的设备。将所有产品连接到正确的电源和压力源。 • 为确保正确性能，请使用合格人员安装、操作、更新、编程和维护产品。 • 需要更换零件时，请确保合格人员使用 Brooks Instrument 指定的更换零件。未经授权的零件和程序会影响产品的性能，并使您的过程的安全操作面临风险。相似的替代品可能会导致火灾、电气危险或操作不当。 • 确保所有设备门均已关闭并且防护罩已安装到位（由合格人员进行维护时除外），以防止触电和人身伤害。
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• 在安装、操作和维修产品之前，请阅读所有说明。如果本说明手册不是正确的手册，请参阅封底以获取当地销售办事处的联系信息。请保存本说明手册以供将来参考。 • 如果您不理解任何说明，请联系您的 Brooks Instrument 代表进行澄清。 • 遵循产品上标记和随产品提供的所有警告、注意事项和说明。 • 告知并培训您的人员正确安装、操作和维护产品。 • 按照相应说明手册的安装说明以及适用的当地和国家法规安装您的设备。将所有产品连接到正确的电源和压力源。 • 为确保正确性能，请使用合格人员安装、操作、更新、编程和维护产品。 • 需要更换零件时，请确保合格人员使用 Brooks Instrument 指定的更换零件。未经授权的零件和程序会影响产品的性能，并使您的过程的安全操作面临风险。相似的替代品可能会导致火灾、电气危险或操作不当。 • 确保所有设备门均已关闭并且防护罩已安装到位（由合格人员进行维护时除外），以防止触电和人身伤害。
Brooks® MF Smart 系列 MFC/MFM
• 在安装、操作和维修产品之前，请阅读所有说明。如果本说明手册不是正确的手册，请参阅封底以获取当地销售办事处的联系信息。保存本说明手册以供将来参考。• 如果您不理解任何说明，请联系您的 Brooks Instrument 代表进行澄清。• 遵循产品上标记和随产品提供的所有警告、注意事项和说明。• 告知并培训您的人员正确安装、操作和维护产品。• 按照相应说明手册的安装说明以及适用的当地和国家法规安装您的设备。将所有产品连接到正确的电源和压力源。• 为确保正确性能，请使用合格人员安装、操作、更新、编程和维护产品。• 需要更换零件时，请确保合格人员使用 Brooks Instrument 指定的更换零件。未经授权的零件和程序会影响产品的性能，并使流程的安全运行面临风险。仿冒替代品可能会导致火灾、电气危险或操作不当。• 确保所有设备门都已关闭，并且防护罩已安装到位（由合格人员进行维护时除外），以防止触电和人身伤害。
MKS Instruments 的 piMFC 压力不敏感质量流量控制器
下一代 MKS π MFC（质量流量控制器）包括功能和性能方面的技术改进，可帮助半导体和高纯度薄膜应用中的用户提高工具吞吐量并降低整体系统成本。通过先进的数字算法提供对上游和下游压力扰动不敏感的实时精确流量控制。通过实现对工艺气体流量的实时控制，与传统的基于 PID 的数字 MFC 相比，其准确性和重复性得到了显着提高，从而实现了更好的腔室匹配。