摘要 金属-石墨烯接触电阻是限制石墨烯在电子设备和传感器中技术开发的主要因素之一。高接触电阻会损害器件性能并破坏石墨烯固有的优良特性。在本文中,我们制造了具有不同几何形状的背栅石墨烯场效应晶体管,以研究接触和沟道电阻以及载流子迁移率随栅极电压和温度的变化。我们应用传输长度法和 y 函数法,表明这两种方法可以相互补充以评估接触电阻并防止在估计载流子迁移率对栅极电压的依赖性时出现伪影。我们发现栅极电压以类似的方式调节接触和沟道电阻,但不会改变载流子迁移率。我们还表明,升高温度会降低载流子迁移率,对接触电阻的影响可以忽略不计,并且可以根据施加的栅极电压诱导石墨烯薄层电阻从半导体行为转变为金属行为。最后,我们表明,消除接触电阻对晶体管沟道电流的不利影响几乎可以使载流子场效应迁移率翻倍,并且通过 Ni 接触的锯齿形成形可以实现低至 700 Ω · μ m 的竞争性接触电阻。
报道的氢掺杂方法也需要高温工艺。11此外,氢掺杂可以显著增加a-IGZO TFT的导通电流,从而大大降低导通/导通电流比。15众所周知,TFT中的电子传输集中在半导体-电介质界面附近。16因此,在界面附近的有限区域内自发氢掺杂对于同步实现灵活、高性能的a-IGZO基TFT和光传感器是理想的选择,尤其是在低温下。此外,氧化铝(Al2O3)是一种高k材料,广泛用作氧化物半导体TFT中的电介质层。Al2O3电介质的制造方法包括原子层沉积(ALD)、17物理气相沉积(PVD)18和溶液工艺。 19通常,ALD需要150℃以上的高衬底温度才能获得高质量的Al 2 O 3 薄膜。Kessels等20报道了一种氧等离子体增强ALD(PEALD)技术,该技术可以在低温下沉积Al 2 O 3 薄膜,所得薄膜含有氢等杂质。在上述方法中,PEALD技术具有薄膜质量高、厚度控制精确、大面积均匀性好、工艺温度低等优点,非常适合于制作高性能柔性器件。本文研究了在不同温度下通过PEALD沉积Al 2 O 3 栅极电介质的a-IGZO TFT的感光特性。室温 (RT) 制备的 a-IGZO TFT 得益于原位界面氢掺杂效应,表现出较高的光电检测性能。通过采用基于 RT a-IGZO TFT 的可区分颜色光传感器阵列实现了彩色图案成像,并通过在聚合物基板上制备 TFT 展示了其灵活性。还展示了高温制备的 a-IGZO TFT 的光刺激突触行为。
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图1所示的垂直NPN设备制造的标准过程始于P类型基板。基板在将制造NPN设备设备的区域中植入N型掺杂剂(例如砷)。该植入物被称为埋藏层,因为下一步是N型硅的外延生长。掩埋层的板电阻远低于外延层的电阻。AR分离扩散是用诸如硼的P Tyne掺杂剂进行的。这会产生由P型隔离所包围的N型材料的电隔离岛。是这些N型区域,它们是侧向NPN设备的收集器。直接在这些区域的下方将是先前讨论的埋藏层。掩埋层通过为电流流动创造低电阻路径来降低收集器电阻。这是产生所需的电气设备特性所需的。进入N型岛群体被扩散为P型硼基。当将N型掺杂剂(如磷)扩散到碱基中时,发射极会形成。垂直NPN结构现在很明显。
1.2. 动机................................................................................................................................ 5
1 产品简介....................................................................................................................................................................................................1 1.1 概述..................................................................................................................................................................................1 1.2 特点..................................................................................................................................................................................................1 1.3 应用..................................................................................................................................................................................................1 1.3.1 应用范围..................................................................................................................................................................................1 1.3.2 特性..................................................................................................................................................................................1 1.3.3 应用范围..................................................................................................................................................................................1 1 1.4 快速参考数据 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ... . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...
1 产品简介. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 1.4 快速参考数据 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ... . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...
nist.gov › publication › get_pdf 基于 AI 的晶体管中电荷噪声的变化... 2瑞士联邦计量局,3003 Bern-Wabern,瑞士。
在 1952 年 2 月的联合计算机会议上,我发表了一篇关于晶体管作为数字计算机组件的论文。我当时的演讲基于一些早期的晶体管经验,这些经验促成了 TRADIC 计划。本文将介绍这些早期经验的进展情况。1951 年,我们有了一个高速点接触晶体管。2 我们还有一个使用该晶体管的放大器,它可以以 1 mc 的脉冲速率再生数字数据。应空军的要求,*启动了一个程序,以开发用于机载应用的晶体管数字计算机。该应用的最佳特征可能是,它需要定期对少于 20 个输入数字执行一系列广泛的计算。机器所需的输出数量甚至比输入数量还要少。计算机将成为军用机器的一部分;也就是说,它的输入不是来自电动打字机或穿孔带的数字,而是来自轴和特殊刻度盘。它的输出同样不是打印的纸张,而是轴位置和向其他机器发出的操作信号。因此,我们面临的大量问题都与
晶体管的名称来自“传输”和“电阻”,它是微电子集成电路的基本元件,在纳米电子尺度上经过必要的改变后,它仍将保持原有的地位:它还非常适合放大等功能,它还执行一项基本功能,即根据需要打开或关闭电流,就像一个开关装置(图)。因此,它的基本工作原理可直接应用于逻辑电路(反相器、门、加法器和存储单元)中二进制代码的处理(0,电流被阻止,1,电流通过)。晶体管基于电子在固体中而不是在真空中的传输,就像旧式三极管的电子管一样,它由三个电极(阳极、阴极和栅极)组成,其中两个电极用作电子储存器:源极用作电子管的发射极灯丝,漏极用作集电板,栅极用作“控制器”。这些元件在当今使用的两种主要晶体管类型中以不同的方式工作:先出现的双极结型晶体管和场效应晶体管 (FET)。双极晶体管使用两种类型的电荷载体,电子(负电荷)和空穴(正电荷),并由相同掺杂(p 或 n)的半导体衬底部分组成