2 功能描述.................... ... . . . . . . . . . . . . . 6 2.2 引脚描述. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 2.3 结构图. . . . . . . . . . . . . . . . . ................. ... 7 2.4.1 压力传递函数特性.................... ... ................................................................................................................................................................. 8 2.5 传递函数温度.......................................................................................................................................................................................................................................................................... 9 2.5.1 温度传递函数特性....................................................................................................................................................................................... 9 2.5.1 温度传递函数特性....................................................................................................................................................................................... 9 . ...
压力传感器测量压力,通常是气体或液体的压力。压力是阻止气体或液体膨胀所需的力的表达,通常以单位面积的力来表示。压力传感器产生与施加的压力相关的信号。通常,这种信号是电信号,但也可能包括其他方式,例如光信号、视觉信号和/或听觉信号。
摘要:本文旨在研究补偿硅压力传感器的迟滞误差,以提高传感器精度。研究对象是基于MEMS技术的工业领域中的大量程扩散硅压阻式压力传感器。由于传感器的迟滞特性复杂,补偿困难,目前尚未见相关研究的先例。作者分析了迟滞特性的成因和影响因素,并通过实验证明了硅压力传感器满足广义Preisach模型的必要和充分条件。利用传感器的Preisach模型,采用逆广义Preisach模型的补偿算法对迟滞误差进行补偿,实验表明,补偿后迟滞误差明显减小,从而提高了传感器的精度。
电源接通或断开时,电压必须快速上升或下降。如果未达到额定电压,传感器可能会发生故障。在某些情况下,达到额定电压后,传感器无法恢复。在这种情况下,请重置电源。即使电压暂时下降,也要关闭电源一次,然后再次打开电源。避免在电源开启后的瞬态(0.5秒)内使用。将产品和接线尽可能远离强电线等噪声源。采取其他措施以应对电源线上电感负载的浪涌。接线后,请勿突然操作控制单元、机械或设备。由于设置错误,可能会输出意外的信号。首先停止控制装置、机械设备,然后通电进行测试。测试后设置目标设置。0.3mm2 及以上的电缆可以延长至 100m。请注意,如果用作 CE 标志产品,连接到本产品的电源线必须小于 10m。
ENDEVCO ® 8500 型扩散压阻式压力传感器是压力传感器系列,与 Endevco 生产高质量仪器的传统一脉相承。除了高质量和高性能之外,这些传感器还具有高度的微型化。该产品系列中最受欢迎的版本之一采用 10-32 UNF 螺纹外壳(直径 5 毫米)。由硅制成的压力传感表面的有效面积直径仅为 0.08 英寸(2 毫米)。性能和耐用性的关键在于独特的传感器设计,该设计结合了扩散到硅芯片中的四臂惠斯通电桥。Endevco 开发了一种特殊形状的硅芯片,而不是简单的平面隔膜,可将应力集中在电阻元件的位置。这可以提高给定共振频率的灵敏度,并大幅提高耐用性。小型传感器内包含桥平衡和温度补偿元件,以优化性能。这是通过使用混合电路制造技术实现的。
现代飞机(军用和民用市场)上的压力传感器范围非常广泛且复杂。许多飞机系统都需要压力传感器作为控制元件,例如:发动机(油压、压缩机压力、电子发动机控制);燃料(泵压力、燃油调节);液压系统(制动系统、负载控制)和环境应用(空调、增压)。未来的飞机系统将对压力传感器的重量、尺寸、成本、可靠性和信号处理提出更高的要求 [11。微机械压力传感器对航空航天应用具有吸引力,因为它们旨在在单个芯片中构建小尺寸、轻重量、低成本和最先进的信号处理电子单元。体微机械压力传感器是最早由硅微机械加工制成的产品之一 [2]。这些第一代 MEMS 压力传感器是在 1970 年代开发的。如今,许多公司制造和销售用于汽车、工业和生物医学应用的体微机械压力传感器。这些压力传感器的测量范围可高达 10,000 Psi,并且具有出色的可靠性。例如,Foxboro 公司报告称,他们的压力传感器可以承受 50 亿次 0 至 10,000 Psi 的压力循环。由于这些体微机械压力传感器已经研究多年,因此在制造和设计两个领域的知识都非常丰富 [3-71。