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连续膜表面微机械硅...
表面微加工成功的光学应用之一是开发静电驱动微机械镜阵列（协调、可移动的反射或折射元件的大规模并行阵列），用于投影显示系统。1 每个元件都是一个镜段，用作较大显示器中的一个像素，元件的驱动使用二进制数字控制信号并行协调。在这样的系统中，已经证明简单微机械致动器的制造成品率可以接近 100%。此外，已经确定可以实现电子器件与微机电系统（MEMS）阵列结构的大规模集成。这种集成是通过在平面化的 CMOS 电子阵列上构建 MEMS 结构来实现的。已经提出了这些基本概念的几种扩展，以便开发用于自适应光学系统的表面微机械连续膜可变形镜。在自适应光学中，重要的是可变形镜既连续又可精确调节。本文描述的设备是使用表面微机械技术制造的第一种连续镜。� 体微机械连续镜之前已经展示过。2 � 表面微机械镜已在波士顿大学设计、制造和测试。该设备由单个柔性光学膜组成，该膜由多个附件支撑，这些附件位于底层表面法向静电致动器阵列上。两个特点将该设备与以前的表面微机械镜系统区分开来。首先，镜面是连续的，而不是分段的。因此，致动器的局部变形会导致镜面平滑偏转，表面轮廓没有不连续性，没有因分段边缘而产生的衍射干涉，也没有因填充因子低于 1 而导致的光强度损失。此外，新的可变形镜面装置可以精确、连续地控制镜面元件
连续膜表面微加工硅变形镜
表面微加工的一个成功光学应用是开发静电驱动微机械镜阵列（由可移动的反射或折射元件组成的大规模并行阵列），用于投影显示系统。1 每个元件都是一个镜面部分，可用作大型显示器中的一个像素，元件的驱动通过二进制数字控制信号并行协调。在这种系统中，已证明简单微机械致动器的制造成品率可以接近 100%。此外，已证实可以实现电子器件与微机电系统（MEMS）阵列结构的大规模集成。这种集成是通过在平面化 CMOS 电子器件阵列上构建 MEMS 结构来实现的。已提出了这些基本概念的几种扩展，以便开发用于自适应光学系统的表面微加工连续膜可变形镜。在自适应光学中，重要的是可变形镜既要连续又要精确可调。本文描述的装置是使用表面微加工技术制造的第一种连续镜。~ 体微加工连续镜之前已经展示过。2 ! 波士顿大学设计、制造和测试了表面微加工镜。该装置由单个柔性光学膜组成，该膜由多个附件支撑，这些附件位于表面法向静电致动器的底层阵列上。该装置有两个特点与以前的表面微加工镜系统不同。首先，镜面是连续的，而不是分段的。因此，致动器的局部变形会导致镜面平滑偏转，表面轮廓没有不连续性，没有由于分段边缘而导致的衍射干扰，也没有由于填充因子低于 1 而导致的光强度损失。此外，新的可变形镜装置允许精确、连续地控制镜面膜。
连续膜表面微加工硅变形镜
表面微加工的一个成功光学应用是开发静电驱动微机械镜阵列（由可移动的反射或折射元件组成的大规模并行阵列），用于投影显示系统。1 每个元件都是一个镜面部分，可用作大型显示器中的一个像素，元件的驱动通过二进制数字控制信号并行协调。在这种系统中，已证明简单微机械致动器的制造成品率可以接近 100%。此外，已证实可以实现电子器件与微机电系统（MEMS）阵列结构的大规模集成。这种集成是通过在平面化 CMOS 电子器件阵列上构建 MEMS 结构来实现的。已提出了这些基本概念的几种扩展，以便开发用于自适应光学系统的表面微加工连续膜可变形镜。在自适应光学中，重要的是可变形镜既要连续又要精确可调。本文描述的装置是使用表面微加工技术制造的第一种连续镜。~ 体微加工连续镜之前已经展示过。2 ! 波士顿大学设计、制造和测试了表面微加工镜。该装置由单个柔性光学膜组成，该膜由多个附件支撑，这些附件位于表面法向静电致动器的底层阵列上。该装置有两个特点与以前的表面微加工镜系统不同。首先，镜面是连续的，而不是分段的。因此，致动器的局部变形会导致镜面平滑偏转，表面轮廓没有不连续性，没有由于分段边缘而导致的衍射干扰，也没有由于填充因子低于 1 而导致的光强度损失。此外，新的可变形镜装置允许精确、连续地控制镜面膜。
连续膜表面微加工硅变形镜
表面微加工的一个成功光学应用是开发静电驱动微机械镜阵列（由可移动的反射或折射元件组成的大规模并行阵列），用于投影显示系统。1 每个元件都是一个镜面部分，可用作大型显示器中的一个像素，元件的驱动通过二进制数字控制信号并行协调。在这种系统中，已证明简单微机械致动器的制造成品率可以接近 100%。此外，已证实可以实现电子器件与微机电系统（MEMS）阵列结构的大规模集成。这种集成是通过在平面化 CMOS 电子器件阵列上构建 MEMS 结构来实现的。已提出了这些基本概念的几种扩展，以便开发用于自适应光学系统的表面微加工连续膜可变形镜。在自适应光学中，重要的是可变形镜既要连续又要精确可调。本文描述的装置是使用表面微加工技术制造的第一种连续镜。~ 体微加工连续镜之前已经展示过。2 ! 波士顿大学设计、制造和测试了表面微加工镜。该装置由单个柔性光学膜组成，该膜由多个附件支撑，这些附件位于表面法向静电致动器的底层阵列上。该装置有两个特点与以前的表面微加工镜系统不同。首先，镜面是连续的，而不是分段的。因此，致动器的局部变形会导致镜面平滑偏转，表面轮廓没有不连续性，没有由于分段边缘而导致的衍射干扰，也没有由于填充因子低于 1 而导致的光强度损失。此外，新的可变形镜装置允许精确、连续地控制镜面膜。
连续膜表面微加工硅变形镜
表面微加工的一个成功光学应用是开发静电驱动微机械镜阵列（由可移动的反射或折射元件组成的大规模并行阵列），用于投影显示系统。1 每个元件都是一个镜面部分，可用作大型显示器中的一个像素，元件的驱动通过二进制数字控制信号并行协调。在这种系统中，已证明简单微机械致动器的制造成品率可以接近 100%。此外，已证实可以实现电子器件与微机电系统（MEMS）阵列结构的大规模集成。这种集成是通过在平面化 CMOS 电子器件阵列上构建 MEMS 结构来实现的。已提出了这些基本概念的几种扩展，以便开发用于自适应光学系统的表面微加工连续膜可变形镜。在自适应光学中，重要的是可变形镜既要连续又要精确可调。本文描述的装置是使用表面微加工技术制造的第一种连续镜。~ 体微加工连续镜之前已经展示过。2 ! 波士顿大学设计、制造和测试了表面微加工镜。该装置由单个柔性光学膜组成，该膜由多个附件支撑，这些附件位于表面法向静电致动器的底层阵列上。该装置有两个特点与以前的表面微加工镜系统不同。首先，镜面是连续的，而不是分段的。因此，致动器的局部变形会导致镜面平滑偏转，表面轮廓没有不连续性，没有由于分段边缘而导致的衍射干扰，也没有由于填充因子低于 1 而导致的光强度损失。此外，新的可变形镜装置允许精确、连续地控制镜面膜。
在金属 - 有机框架中的协调不饱和铜（i）位点的几何调整，用于环境温度的氢存储
摘要：多孔固体可以容易地容纳和释放分子氢，从而使它们具有最大程度地减少相对于物理储存系统的氢存储的能量需求。但是，此类材料中的H 2吸附焓通常弱（-3至 -7 kJ/mol），可在环境温度下降低能力。金属 - 具有明确定义的结构和合成模块的有机框架可以使吸附剂 - H 2相互作用来调整环境温度存储。最近，Cu 2.2 Zn 2.8 cl 1.8（btdd）3（H 2 Btdd = Bis（1 H -1 H -1 H -1 H -1 H -1 H -1 H-5- B]，[4'，[4'，5'，I]）dibenzo [1,4] dioxin; cu I -mfu-4 l）报告KJ/ mol由于从Cu I到H 2的π背键，超过了环境温度存储的最佳结合强度（-15至-25 kJ/ mol）。旨在实现最佳的H 2结合，我们试图通过调整三角形Cu I位点的金字塔几何形状来调节π背键相互作用。一系列的同建框架，Cu 2.7 m 2.3 x 1.3（btdd）3（m = m = mn，cd; x = cl，i; cu i; cu i m-mfu-4 l），通过相应的材料的合同后修饰M 5 x 4（btdd）3（m = m = m = mn，cd; x = ch 3 3 co 2 co 2 co 2 co 2 co 2 co 2 co 2 co2该策略根据五核聚类簇节点的中央金属离子的离子半径调整了H 2吸附焓，导致M = Zn II（0.74Å）的-33 kJ/mol（0.74Å），-27 kJ/mol，m = m = mn II（0.83Å）和摩尔/摩尔。因此，Cu I CD-MFU-4 L提供了第二个，更稳定的最佳H 2结合能的示例，用于在报告的金属 - 有机框架之间存储环境温度。结构，计算和光谱研究表明，较大的中央金属平面化三角形铜I位点，将π背键削弱至H 2。■简介
气候变化和加利福尼亚的陆地生物多样性
摘要：多孔固体可以容易地容纳和释放分子氢，从而使它们具有最大程度地减少相对于物理储存系统的氢存储的能量需求。但是，此类材料中的H 2吸附焓通常弱（-3至 -7 kJ/mol），可在环境温度下降低能力。金属 - 具有明确定义的结构和合成模块的有机框架可以使吸附剂 - H 2相互作用来调整环境温度存储。最近，Cu 2.2 Zn 2.8 cl 1.8（btdd）3（H 2 Btdd = Bis（1 H -1 H -1 H -1 H -1 H -1 H -1 H-5- B]，[4'，[4'，5'，I]）dibenzo [1,4] dioxin; cu I -mfu-4 l）报告KJ/ mol由于从Cu I到H 2的π背键，超过了环境温度存储的最佳结合强度（-15至-25 kJ/ mol）。旨在实现最佳的H 2结合，我们试图通过调整三角形Cu I位点的金字塔几何形状来调节π背键相互作用。一系列的同建框架，Cu 2.7 m 2.3 x 1.3（btdd）3（m = m = mn，cd; x = cl，i; cu i; cu i m-mfu-4 l），通过相应的材料的合同后修饰M 5 x 4（btdd）3（m = m = m = mn，cd; x = ch 3 3 co 2 co 2 co 2 co 2 co 2 co 2 co 2 co2该策略根据五核聚类簇节点的中央金属离子的离子半径调整了H 2吸附焓，导致M = Zn II（0.74Å）的-33 kJ/mol（0.74Å），-27 kJ/mol，m = m = mn II（0.83Å）和摩尔/摩尔。因此，Cu I CD-MFU-4 L提供了第二个，更稳定的最佳H 2结合能的示例，用于在报告的金属 - 有机框架之间存储环境温度。结构，计算和光谱研究表明，较大的中央金属平面化三角形铜I位点，将π背键削弱至H 2。■简介