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第 65 届年度技术会议论文集：2022 年 5 月 2 日至 5 日 © 2022 真空镀膜协会保留所有权利，ISSN 0737-5921，ISBN 978-1-8780
钼 (Mo) 和钨 (W) 因利用这些难熔金属的特殊材料特性而得到广泛的应用。演讲将概述 Mo 和 W 在微电子、显示器和太阳能行业的重要应用，并介绍特定应用所需的最相关材料特性。钼因其在玻璃上的优异附着力、高电导率和良好的扩散阻挡性能而用于显示器的薄膜晶体管 (TFT) 和薄膜太阳能电池的电极。Mo 和 W 薄膜的高密度和良好的电阻率对于 MEMS 组件（如 RF 滤波器 (SAW/BAW) 或压电传感器）非常重要。在半导体制造中，由于电子在小临界尺寸下的平均自由程较长，Mo 和 W 可以作为薄膜材料发挥关键作用，以实现更小的节点和器件结构。对于电致变色应用，通常使用氧化钨基材料作为有源层。
平面纳米真空发射器的电子发射模式
纳米制造技术的最新进展使得人们能够制造出具有纳米级自由空间间隙的真空电子器件。这些纳米电子器件具有冷场发射和通过自由空间传输的优势，例如高非线性和对温度和电离辐射的相对不敏感性，同时大大减少了占用空间，增加了工作带宽并降低了每个器件的功耗。此外，平面真空纳米电子器件可以很容易地以类似于典型的微纳米级半导体电子器件的规模进行集成。然而，这些器件中不同电子发射机制之间的相互作用尚不清楚，其他人已经注意到它们与纯 Fowler-Nordheim 发射不一致。在这项工作中，我们系统地研究了平面真空纳米二极管的电流-电压特性，这些二极管的曲率半径为几纳米，发射极和集电极之间有自由空间间隙。通过研究由两种不同材料制成的几乎相同的二极管在不同环境条件（如温度和大气压）下的电流-电压特性，我们能够清楚地分离出单个器件中的三种不同发射模式：肖特基、福勒-诺德海姆和饱和。我们的工作将实现对真空纳米电子器件的稳健而准确的建模，这对于需要能够在极端条件下运行的高速、低功耗电子器件的未来应用至关重要。
真空沉积：-CT Physics
实际上，情况并非如此简单，大量变量影响了膜的性质，例如激光流利度，背景气体基板温度，底物表面的粗糙度，消融材料的电离密度等。这些变量在一定程度上操纵膜特性。但是，优化可能需要大量的时间和精力。的确，对PLD的早期研究的大部分研究都集中在单个材料和应用的沉积条件的经验优化上，而无需试图了解材料从目标转移到底物时发生的过程。通常使用femto第二激光激光器来沉积薄膜的薄膜，较小的纳米米厚度。脉冲激光沉积机的示意图如图所示。
基于薄致密真空沉积 CH 3 NH 3 PbI 3膜的高效半透明钙钛矿太阳能电池
其高吸收系数使其在半透明太阳能电池应用方面具有吸引力。 [6] 然而，这些材料的高吸收系数使其难以在低带隙钙钛矿（≈带隙<1.7 eV）PSC 中获得高平均可见光透射率 (AVT) 值。虽然降低钙钛矿层厚度是增强任何半透明 PSC (ST-PSC) 中 AVT 的明显解决方案，但是，由于与使用溶液工艺制造亚 100 纳米、均匀、无针孔的钙钛矿薄膜相关的限制，该解决方案尚未可靠地实施。 [7] 因此，限制了 ST-PSC 可实现的最大 AVT。为了解决这个问题，据报道，替代性的钙钛矿层沉积和生长策略可以在不需要显著减少膜厚度的情况下提高钙钛矿层的透射率。[7] 例如，最初引入了脱湿和网格辅助沉积技术，使钙钛矿薄膜部分覆盖在基底上。脱湿技术导致随机生长的钙钛矿岛的形成，[8,9] 而网格辅助沉积导致钙钛矿在受控的网格结构中生长。[10,11] 虽然这两种方法显著提高了钙钛矿层的透射率，但由于在无钙钛矿区域空穴传输层和电子传输层直接接触导致分流通路的存在，相应的器件表现出有限的 PCE。[12] 需要在没有钙钛矿的区域额外选择性沉积绝缘分子，以减少上述泄漏损失。 [12,13] 随后，引入支架层和材料以生长有序的大孔 [14] 微结构 [15,16] 和纳米结构 [17] 钙钛矿层。虽然这些钙钛矿结构表现出增强的透射率和减少的分流通路，从而提高了 ST-PSC 的 AVT 和 PCE，但它们的制造相对复杂和繁琐得多，即与厚的不透明钙钛矿薄膜的溶液处理相比，它们需要额外的材料和合成工艺。此外，在大多数情况下，上述 ST-PSC 的开路电压 (V oc) 和填充因子 (FF) 分别低于 ≈ 1000 mV 和 ≈ 70%，这表明与不透明的对应物相比，这些器件中存在残余复合损失。因此，需要一种简单的替代方法来生长足够透明和致密的钙钛矿层
设计用于空间活性氢maser的真空系统
具有其频率信号输出的高精度和稳定性，主动氢maser在定时，卫星导航和通信等领域起着重要作用。但是，它需要更轻，以便在太空中应用。我们根据对吸附单元和结构要求的参数的氢流量和吸附单元的吸附效率进行了研究，并为空间活性氢mas（SAHM）设计了一个合并的真空泵。该真空泵由一个getter泵和一个小离子泵组成，总质量约为5 kg。通过计算，泵送速度将约为474 l/s，当氢气被氢气吸附为2.5 mpa l时。从理论上讲，一生中总源氢的流量不高于总容量Getter泵的20％，因此设计应充分满足SAHM真空系统的要求，并且对未来的SAHM应用非常有利。
超高真空CF法兰接头在…的应用分析
分析类型 – 有限元分析 (FEA) 初始条件： - 软和硬（1/4 硬铜）垫片 - 法兰材料 – 不锈钢 (304L) - 垫片和法兰可变形 - 初始温度 24 ° C
大电流真空二极管中“异常”电子的物理性质
简介/目的：从理论上解释亚纳秒真空二极管中存在一组电子，其动能远高于施加电压（乘以基本电荷值）qU max 。方法：采用基于 Vlasov-Poisson 微分方程组数值解的数学方法，用于各种设计的一维真空二极管。结果：详细显示了所谓的“异常”电子出现在表征真空二极管中建立电流流动过程的瞬态时间域中。结论：令人信服地表明，“异常”电子的存在与二极管设计或额外电流载体的存在无关。在电压脉冲前沿为亚纳秒的真空二极管中，超过 qU max 的能量可能超过 20%。
Y2O3暴露于真空的热控制涂层
随着太空科学和技术的发展，地球同步轨道卫星的重量轻，长寿和高可靠性正在开发。1,2热控制涂层是确保卫星温度平衡的主要被动热控制手段，3 - 5保证卫星的高度可靠操作。因此，希望开发出具有轻重量和高空间稳定性的新型热控制涂层，以改善卫星的使用寿命。目前，根据组合，热控制涂层主要分为有机涂料和无机涂层。6，尤其是无机热控制涂层的辐射率低 - 吸收比和在太空环境中的良好稳定性，目前是航天器冷却表面的优选。7,8，由于热控制涂层位于航天器的外表面，因此它将直接暴露于苛刻的空间环境中，例如高真空，带电的颗粒，紫外线辐射，原子氧气等。9 - 12在苛刻的空间环境中，值得注意的是
空间/真空环境下酚醛球轴承保持架测试
这是一种非接触式光学测量系统，可通过针对每种保持器设计的特定程序将平均尺寸拟合到数百次光学测量中。本文中使用的所有测量（包括 2012 年的先前数据和当前测试）均使用相同类型的湿度柜和相同的 Visio 测量系统完成。在当前测试中进行的每次测量中，每个保持器都独立从湿度室中取出。之前的 2012 年数据被用作参考比较，测试时并未完整记录用于此测试的确切程序。图 2 和图 3 显示了湿度柜和测量孔和 OD 视觉系统以供参考。两个系统都紧挨着放在一个公共工作台上，以限制超出参考湿度条件的时间。